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本实用新型公开了一种可在线观测的真空检漏仪，包括：机体、样品座部件、抽真空装置、检测机构和同轴光调节器；样品座部件设于所述机体顶部；抽真空装置设于所述机体内侧；检测机构设于机体顶部；同轴光调节器设于检测机构左侧，用于调节所述检测机构拍摄时光...
该专利属于厦门超新芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门超新芯科技有限公司授权不得商用。

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