一种静压导轨直线度测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种静压导轨直线度测量装置，包括：基座；设置在基座上方的溜板；固定在溜板顶部中央的三维精密调整平台；放置在三维精密调整平台上的高精度玻璃圆盘，高精度玻璃圆盘与三维精密调整平台之间通过高压气体悬浮形成气体静压相对移动导轨；安装在基座一侧的仪器座，仪器座上竖直安装有仪器支柱，仪器支柱的顶部安装有仪器横向支承，仪器横向支承延伸至高精度玻璃圆盘上方，精密电容传感器固定在仪器横向支承上且向下正对高精度玻璃圆盘设置。本静压导轨直线度测量装置结构简单，操作方便，检测成本较低、测量过程中不受外部环境影响，测量精度高。

A device for measuring the straightness of hydrostatic guideway

【技术实现步骤摘要】
一种静压导轨直线度测量装置
本技术涉及一种夹持装置，具体涉及一种静压导轨直线度测量装置。
技术介绍
静压导轨是超精密机床的核心零部件，其利用具有一定压力的流体薄膜支承与之配合的溜板运动，使导轨面之间处于纯液体摩擦状态。导轨运动的直线度误差会直接反映在加工零件上，影响产品的互换性和产品精度。因此，在导轨安装过程中需要对导轨的直线度进行测量，直线度是机床导轨精度的重要指标之一。随着科学技术的不断发展，工业生产的不断变革，工业上对各项参数的测量精度要求越来越高，使得工业测量的内容和手段也发生了很大的变化。形状和未知误差影响着产品的质量和使用性能。对加工和测量也不断提出更新更高的要求。现有技术采用激光干涉仪器对静压导轨的直线度进行测量，但是成本极高且测量受到环境的影响。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提出了一种成本较低、不受外部环境影响且测量精度高的静压导轨直线度测量装置。为实现上述技术方案，本技术提供了一种静压导轨直线度测量装置，包括：基座；设置在基座上方的溜板；固定在溜板顶部中央的三维精密调本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种静压导轨直线度测量装置，其特征在于包括：/n基座；/n设置在基座上方的溜板；/n固定在溜板顶部中央的三维精密调整平台，所述三维精密调整平台顶部设置有气浮腔；/n放置在三维精密调整平台上的高精度玻璃圆盘，所述高精度玻璃圆盘与三维精密调整平台之间通过高压气体悬浮形成气体静压相对移动导轨；/n安装在基座一侧的仪器座，所述仪器座上竖直安装有仪器支柱，所述仪器支柱的顶部安装有仪器横向支承，所述仪器横向支承延伸至高精度玻璃圆盘上方，精密电容传感器固定在仪器横向支承上且向下正对高精度玻璃圆盘设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种静压导轨直线度测量装置，其特征在于包括：
基座；
设置在基座上方的溜板；
固定在溜板顶部中央的三维精密调整平台，所述三维精密调整平台顶部设置有气浮腔；
放置在三维精密调整平台上的高精度玻璃圆盘，所述高精度玻璃圆盘与三维精密调整平台之间通过高压气体悬浮形成气体静压相对移动导轨；
安装在基座一侧的仪器座，所述仪器座上竖直安装有仪器支柱，所述仪器支柱的顶部安装有仪器横...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱海彬，
申请(专利权)人：广州克勤教育咨询有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44