下载一种静压导轨直线度测量装置的技术资料

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本实用新型提供了一种静压导轨直线度测量装置,包括:基座;设置在基座上方的溜板;固定在溜板顶部中央的三维精密调整平台;放置在三维精密调整平台上的高精度玻璃圆盘,高精度玻璃圆盘与三维精密调整平台之间通过高压气体悬浮形成气体静压相对移动导轨;安装...
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