一种硅片清洗装载搬运结构制造技术

技术编号:24277558 阅读:43 留言:0更新日期:2020-05-23 15:36
本实用新型专利技术公开了一种硅片清洗装载搬运结构,涉及硅片清洗装置领域,针对现有硅片易重叠清效率低,且转运不便的问题,现提出如下方案,其包括底板、上底板和设置有滑槽的多个支撑柱,所述底板的底部设置有液压杆,所述液压杆的顶端固定连接有支撑板,所述支撑板的上表面固定连接有推杆,所述滑槽内设置有螺纹杆,所述螺纹杆在向底板中心的方向上设置有剪刀式折叠架,所述剪刀式折叠架的上端通过铰链连接有滑块,所述滑块的表面开设有螺纹孔,所述剪刀式折叠架的下端固定连接在支撑块的上表面,所述剪刀式折叠架互相靠近的一侧之间固定连接有托板。本实用新型专利技术清洗装载搬运结构具有便于清理,且高效,方便转运的特点。

A structure for cleaning, loading and transporting silicon wafer

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗装载搬运结构
本技术涉及硅片清洗装置领域,尤其涉及一种硅片清洗装载搬运结构。
技术介绍
单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料,随着国内和国际市场对单晶硅片需求量的快速增加,单晶硅棒的市场需求也呈快速增长的趋势。现有技术中单晶硅片切割抛光后需要清洗表面污垢,现有的清洗设备简单的将单晶硅片放入放入水槽中冲洗,导致单晶硅片重叠,清洗效率低。且在硅片的生产中一般不方便进行转运,因为硅片的特殊性往往不能有人手直接的进行触碰,这也增加了清洗后转运的难度,因此提出一种硅片清洗装载搬运结构。
技术实现思路
本技术提出的一种硅片清洗装载搬运结构,解决了现有硅片易重叠清效率低,且转运不便的问题。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种硅片清洗装载搬运结构,包括底板、上底板和设置有滑槽的多个支撑柱,所述底板的底部设置有液压杆,所述液压杆的顶端固定连接有支撑板,所述支撑板的上表面固定连接有推杆,所述滑槽内设置有螺纹杆,所述螺纹杆在向底板中心的方向上设置有剪刀式折叠架,所述剪刀式折叠架的上端通过铰链连接有滑块,所述滑块的表面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片清洗装载搬运结构,包括底板(1)、上底板和设置有滑槽(2)的多个支撑柱,所述底板(1)的底部设置有液压杆(3),所述液压杆(3)的顶端固定连接有支撑板(4),其特征在于,所述支撑板(4)的上表面固定连接有推杆(5),所述滑槽(2)内设置有螺纹杆(6),所述螺纹杆(6)在向底板(1)中心的方向上设置有剪刀式折叠架(7),所述剪刀式折叠架(7)的上端通过铰链(8)连接有滑块(9),所述滑块(9)的表面开设有螺纹孔(10),所述剪刀式折叠架(7)的下端固定连接在支撑块(11)的上表面,所述剪刀式折叠架(7)互相靠近的一侧之间固定连接有托板(12),且托板(12)上开设有圆孔(13),所述...

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗装载搬运结构,包括底板(1)、上底板和设置有滑槽(2)的多个支撑柱,所述底板(1)的底部设置有液压杆(3),所述液压杆(3)的顶端固定连接有支撑板(4),其特征在于,所述支撑板(4)的上表面固定连接有推杆(5),所述滑槽(2)内设置有螺纹杆(6),所述螺纹杆(6)在向底板(1)中心的方向上设置有剪刀式折叠架(7),所述剪刀式折叠架(7)的上端通过铰链(8)连接有滑块(9),所述滑块(9)的表面开设有螺纹孔(10),所述剪刀式折叠架(7)的下端固定连接在支撑块(11)的上表面,所述剪刀式折叠架(7)互相靠近的一侧之间固定连接有托板(12),且托板(12)上开设有圆孔(13),所述螺纹杆(6)的上端固定连接有锥形齿轮(14)。


2.根据权利要求1所述一种硅片清洗装载搬运结构,其特征在于,所述底板(1)分为上底板和下底板,且二者之间固定连接有支撑柱,上底板的上表面设置有两个转杆(15),所述转...

【专利技术属性】
技术研发人员:关行涛
申请(专利权)人:天津创昱达光伏科技有限公司
类型:新型
国别省市:天津;12

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