下载一种硅片清洗装载搬运结构的技术资料

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本实用新型公开了一种硅片清洗装载搬运结构,涉及硅片清洗装置领域,针对现有硅片易重叠清效率低,且转运不便的问题,现提出如下方案,其包括底板、上底板和设置有滑槽的多个支撑柱,所述底板的底部设置有液压杆,所述液压杆的顶端固定连接有支撑板,所述支撑...
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