【技术实现步骤摘要】
一种翻板阀
本技术涉及真空镀膜
,具体涉及一种翻板阀。
技术介绍
真空连续镀膜生产线一般由多个不同功能的模块构成,呈线例式拼装在一起,被镀基片从一端进入,经过整个镀膜生产线完成镀膜工艺,从另一端出片,满足真空镀膜正常运行需要首先在整个模块间形成一个非常洁净的环境,其次要满足不同模块间的不同真空度,形成从大气—镀膜工艺压力—大气的压力梯度,真空翻板阀是实现上述功能的核心部件,镀膜产品质量的优劣,镀膜连续线能否正常使用,翻板阀起到关键作用。公开号为CN110131421A的中国技术专利公开了一种外驱动式两段传输阀,主要包括:阀板,阀门连杆,转轴架,驱动连杆,空心行程轴,上段焊接纹管组件,下段焊接波纹管组件,限位轴套,限位法兰,矩形弹簧,升降横梁及相关件构成两组两段传输的机构;通过位于升降横梁中间位置的气缸杆的伸长与缩回,以及下弹簧的伸展或压缩,带动上、下波纹管组件压缩与伸展,使阀板首先沿垂直方向向下或向上移动,之后阀板将围绕转轴顺时针或逆时针转动一定角度与真空腔室的密封面紧密贴合,为真空腔室提供可靠的反应环境,克服 ...
【技术保护点】
1.一种翻板阀,其特征在于,包括:/n阀体(1),其内部具有阀腔,所述阀体(1)上设有与所述阀腔贯通的阀门开口(101);/n直线驱动机构,安装于所述阀体(1)且其伸缩端伸入所述阀腔内;/n阀板组件(3),置于所述阀腔内,连接在所述阀体(1)内壁和所述直线驱动机构的伸缩端之间;所述阀板组件(3)在所述直线驱动机构的作用下具有关闭所述阀门开口(101)的关闭状态和开启所述阀门开口(101)的打开状态。/n
【技术特征摘要】
1.一种翻板阀,其特征在于,包括:
阀体(1),其内部具有阀腔,所述阀体(1)上设有与所述阀腔贯通的阀门开口(101);
直线驱动机构,安装于所述阀体(1)且其伸缩端伸入所述阀腔内;
阀板组件(3),置于所述阀腔内,连接在所述阀体(1)内壁和所述直线驱动机构的伸缩端之间;所述阀板组件(3)在所述直线驱动机构的作用下具有关闭所述阀门开口(101)的关闭状态和开启所述阀门开口(101)的打开状态。
2.根据权利要求1所述的翻板阀,其特征在于,所述直线驱动机构的伸缩端上连接有调整块(4),所述调整块(4)上设有腰型孔(41);所述阀板组件(3)的一端绕一连接轴(6)转动安装于所述阀体(1),所述阀板组件(3)的另一端连接有滑动转轴(5),所述滑动转轴(5)与所述腰型孔(41)滑动配合。
3.根据权利要求2所述的翻板阀,其特征在于,所述阀板组件(3)包括用于密封所述阀门开口(101)的阀板(31)和与所述阀板(31)连接的连接板(32),所述连接板(32)呈T型,所述滑动转轴(5)连接在所述连接板(32)的一个自由端上。
4.根据权利要求3所述的翻板阀,其特征在于,所述连接板(32)与所述滑动转轴(5)连接的一端设有第一固定孔(321),所述滑动转轴(5)转动连接于所述第一固定孔(321);所述连接板(32)与所述阀体(1)连接的一端设有第二固定...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙围华,田旭,靳毅,
申请(专利权)人:川北真空科技北京有限公司,
类型:新型
国别省市:北京;11
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