蛾眼转印模、蛾眼转印模的制造方法及蛾眼结构的转印方法技术

本发明专利技术提供制造工序简易且廉价的蛾眼转印模和蛾眼转印模的制造方法。一种蛾眼转印模(1)，其特征在于，其具备基材(10)、形成在该基材(10)上的基底层(20)和形成在该基底层(20)上的玻璃碳层(30)，该玻璃碳层(30)在其表面(30a)具有反转的蛾眼结构(RM)，上述反转的蛾眼结构(RM)为无规排列的锥状的孔。

Methods of manufacturing moth eye transfer mold, moth eye transfer mold and moth eye structure transfer printing

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蛾眼转印模、蛾眼转印模的制造方法及蛾眼结构的转印方法
本专利技术涉及蛾眼转印模、蛾眼转印模的制造方法及蛾眼结构的转印方法。
技术介绍
对于在电视、智能手机、平板终端等中使用的显示装置、照相机镜头等光学元件而言，通常为了降低表面反射、提高光的透过量而实施防反射技术。作为防反射技术，在基板表面形成凹凸的周期被控制为可见光(λ＝380nm～780nm)的波长以下的微细凹凸图案的方法受到注目。该方法利用了所谓蛾眼(Motheye、蛾的眼睛)结构的原理，通过使对于入射至基板的光的折射率沿着凹凸的深度方向从入射介质的折射率连续地变化为基板的折射率，从而抑制想要防止反射的波长区域的反射。蛾眼结构除了能够发挥在遍布宽泛的波长区域内入射角依赖性小的防反射作用之外，还具有能够应用于多种材料、能够将凹凸图案直接形成于基板等优点。其结果能够提供低成本且高性能的防反射膜(或防反射表面)。作为蛾眼结构的转印模(转印版)的制造方法，有包括如下工序的方法：使铝合金层部分地进行阳极氧化，由此形成具有多个微细凹部的多孔氧化铝层的工序；在上述工序之后，使上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蛾眼转印模，其特征在于，其具备基材、形成在该基材上的基底层和形成在该基底层上的玻璃碳层，/n该玻璃碳层在其表面具有反转的蛾眼结构，/n所述反转的蛾眼结构为无规排列的锥状的孔。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180613 JP 2018-1130211.一种蛾眼转印模，其特征在于，其具备基材、形成在该基材上的基底层和形成在该基底层上的玻璃碳层，
该玻璃碳层在其表面具有反转的蛾眼结构，
所述反转的蛾眼结构为无规排列的锥状的孔。


2.根据权利要求1所述的蛾眼转印模，其特征在于，所述基材含有选自包含树脂、玻璃、金属、合金、陶瓷、硅晶片、化合物半导体、碳化硅、太阳能电池材料的组中的一种以上的物质。


3.根据权利要求1或2所述的蛾眼转印模，其特征在于，所述基底层含有选自包含金属、合金、陶瓷、硅的组中的一种以上的物质。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的蛾眼转印模，其特征在于，构成所述反转的蛾眼结构的玻璃碳的微细结构具有10nm～400nm的平均直径、30nm～1000nm的平均高度、10nm～500nm的范围内的平均间距。


5.根据权利要求1～4中任一项所述的蛾眼转印模，其特征在于，所述蛾眼转印模的形状包括选自包含辊状、平板状、不规则形状的组中的一种以上的形状。


6.一种蛾眼转印模的制造方法，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷口淳，菅原浩幸，
申请(专利权)人：学校法人东京理科大学，吉奥马科技有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP