一种负载自适应的高压宽频交流电源电路制造技术

本发明专利技术公开了一种负载自适应的高压宽频交流电源电路，属于涉及应用于分析仪器、生物医学、环境监测、科研等领域，该电路包括整流滤波调压电路、变频逆变电路、初级匹配电路、匹配变压器组、次级匹配电路、输出电压电流采样电路和自适应匹配控制电路；整流滤波调压电路与变频逆变电路的输入端相连接，变频逆变电路的输出端与初级匹配电路的输入端相连接，初级匹配电路输出端与匹配变压器组的输入端相连接，匹配变压器组的输出端与次级匹配电路的输入端相连接，次级匹配电路的输出端与输出电压电流采样电路的输入端相连接，该电路不仅因其宽频的自适应匹配特性可广泛推广实验室使用，也因其单变频电路与变压器组输出结构的低成本和高可靠性可广泛应用于工业。

A load adaptive high voltage wide frequency AC power supply circuit

【技术实现步骤摘要】
一种负载自适应的高压宽频交流电源电路
本专利技术涉及应用于分析仪器、生物医学、环境监测、科研等领域中的一种负载自适应的高压宽频交流电源电路。
技术介绍
目前等离子体发生器的使用的交流电源有低频高压交流电源，高频交流电源和射频高压电源。低频高压电源可靠性高，但是体积大，效率低，应用范围窄。射频高压电源成本高，电压低，甚至反应器需要低气压密封环境。而高频高压电源通常采用高压谐振交流电源或者高压放大器。传统的高压谐振交流电源虽可以调节频率，调节电压，但其在中心频率附近电压增益最大，频率偏离中心频率后电压快速衰减，所以高压输出时负载匹配范围窄，很多情况下只能调节频率到适用于电源的频率，而电路往往不能实现在电路频率范围内任意的调节频率，这样电压和频率可能无法满足等离子发生器的实验要求；同时偏离中心频率输出波形易产生畸变，在宽负载范围的条件下电路无法宽电压和宽频率输出，畸变波形也可能造成在相同输出峰值电压和频率条件下实验结果有很大差别；再者因为上述波形畸变、偏离中心频率增益过小、以及中心频率增益过大等原因，传统的高压交流谐振电源不适合采用闭本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种负载自适应的高压宽频交流电源电路，其特征在于：包括整流滤波调压电路(101)、变频逆变电路(102)、初级匹配电路(103)、匹配变压器组(104)、次级匹配电路(105)、输出电压电流采样电路(106)和自适应匹配控制电路(107)；/n所述整流滤波调压电路(101)与所述变频逆变电路(102)的输入端相连接，所述变频逆变电路(102)的输出端与所述初级匹配电路(103)的输入端相连接，所述初级匹配电路(103)输出端与所述匹配变压器组(104)的输入端相连接，所述匹配变压器组(104)的输出端与所述次级匹配电路(105)的输入端相连接，所述次级匹配电路(105)的输出端与所述输出电...

【技术特征摘要】
1.一种负载自适应的高压宽频交流电源电路，其特征在于：包括整流滤波调压电路(101)、变频逆变电路(102)、初级匹配电路(103)、匹配变压器组(104)、次级匹配电路(105)、输出电压电流采样电路(106)和自适应匹配控制电路(107)；
所述整流滤波调压电路(101)与所述变频逆变电路(102)的输入端相连接，所述变频逆变电路(102)的输出端与所述初级匹配电路(103)的输入端相连接，所述初级匹配电路(103)输出端与所述匹配变压器组(104)的输入端相连接，所述匹配变压器组(104)的输出端与所述次级匹配电路(105)的输入端相连接，所述次级匹配电路(105)的输出端与所述输出电压电流采样电路(106)的输入端相连接；
所述自适应匹配控制电路(107)分别与所述整流滤波调压电路(101)、所述变频逆变电路(102)、所述初级匹配电路(103)、所述匹配变压器组(104)、次级匹配电路(105)和所述输出电压电流采样电路(106)相连接。


2.根据权利要求1所述的一种负载自适应的高压宽频交流电源电路，其特征还在于：
所述变频逆变电路(102)包括第一电容(201)、第二电容(207)、第三电容(206)、第一开关(202)、第二开关(203)、第三开关(204)、第四开关(205)和第一电感(208)；
所述第一电容(201)一端分别与所述第二电容(207)的一端、所述第一开关(202)的一端和所述第三开关(204)的一端相连接；
所述第一电容(201)的另一端分别与所述第三电容(206)的一端、所述第二开关(203)的一端和所述第四开关(205)的一端相连接；
所述第二电容(207)的另一端和所述第三电容(206)的另一端均与所述第一电感(208)的一端相连接；
所述第一开关(202)的另一端和所述第二开关(203)的另一端相连接；
所述第一电感(208)的另一端与所述匹配变压器组(104)相连接；
所述第三开关(204)的另一端和所述第四开关(205)的另一端均与所述初级匹配电路(103)相连接。


3.根据权利要求1所述的一种负载自适应的高压宽频交流电源电路，其特征还在于：
所述初级匹配电路(103)包括第四电容(209)、第五电容(210)、第五开关(211)、第二电感(212)、第三电感(213)、第四电感(214)和第一切换开关(215)；
所述第四电容(209)一端和所述第五电容(210)一端并联连接之后与所述匹配电压器组(104)相连接；
所述第四电容(209)的另一端与所述第二电感(212)的一端及所述第一切换开关(215)的第一端相连接；
所述第五电容(210)的另一端与所述第五开关(211)的一端相连接；
所述第五开关(211)的另一端与所述第二电感(212)的一端和所述第一切换开关(215)的第一端相连接；
所述第二电感(212)的一端和所述第一切换开关(215)的第一端相连接；
所述第二电感(212)的另一端与所述第三电感(213)的一端和所述第一切换开关(215)的第二端相连接；
所述第三电感(213)的一端和所述第一切换开关(215)的第二端...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘东平，赵志国，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：辽宁;21