物理量传感器、电子设备以及移动体制造技术

本申请公开了具有优异的检测灵敏度的物理量传感器、电子设备以及移动体。本发明专利技术的物理量传感器具有：基板，将沿着Z轴的方向作为厚度方向；以及传感器元件，设置于所述基板，并检测物理量，所述传感器元件具有：可动部，相对于所述基板在沿着作为所述物理量的检测轴的所述X轴的方向上位移；以及固定电极，固定于所述基板，所述可动部具有：可动电极，与所述固定电极在沿着所述X轴的方向上相对配置；以及质量部，支承所述可动电极，沿着所述Z轴的方向的长度比所述可动电极长。

Physical quantity sensor, electronic equipment and mobile body

【技术实现步骤摘要】
物理量传感器、电子设备以及移动体
本专利技术涉及物理量传感器、电子设备以及移动体。
技术介绍
专利文献1所记载的物理量传感器是能够检测加速度的加速度传感器，具有基板和固定于基板的器件基板。另外，器件基板具有：固定于基板的固定部；经由弹簧与固定部连接，能够相对于基板在旋转方向上位移的可动部；设置于可动部的可动电极指；固定于基板，与可动电极指相对配置的固定电极指。在这样的结构的物理量传感器中，如果施加加速度，则可动部在旋转方向上位移，能够基于伴随该位移的可动电极指与固定电极指之间的静电电容的变化来检测受到的加速度。专利文献1：特开2017-67579号公报在此，作为提高加速度的检测灵敏度的方法，有使受到加速度时可动的部分即由可动部以及可动电极指构成的可动体的质量增加的方法，作为使可动体的质量增加的方法，有增厚器件基板的方法。然而，如果使器件基板的厚度在其整个区域中均匀地变厚，则可动电极指以及固定电极指也变厚，可动电极指与固定电极指之间的粘性阻力增大，可动电极指的阻尼增大。因此，伴随可动体的质量增加而提高的检测灵敏度被可动电极指的阻尼本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种物理量传感器，其特征在于，/n在将相互正交的三个轴作为X轴、Y轴以及Z轴时，所述物理量传感器具有：/n基板，将沿着Z轴的方向作为厚度方向；以及/n传感器元件，设置于所述基板，并检测物理量，/n所述传感器元件具有：/n可动部，相对于所述基板在沿着作为所述物理量的检测轴的所述X轴的方向上位移；以及/n固定电极，固定于所述基板，/n所述可动部具有：/n可动电极，与所述固定电极在沿着所述X轴的方向上相对配置；以及/n质量部，支承所述可动电极，沿着所述Z轴的方向的长度比所述可动电极长。/n

【技术特征摘要】
20181029 JP 2018-2031811.一种物理量传感器，其特征在于，
在将相互正交的三个轴作为X轴、Y轴以及Z轴时，所述物理量传感器具有：
基板，将沿着Z轴的方向作为厚度方向；以及
传感器元件，设置于所述基板，并检测物理量，
所述传感器元件具有：
可动部，相对于所述基板在沿着作为所述物理量的检测轴的所述X轴的方向上位移；以及
固定电极，固定于所述基板，
所述可动部具有：
可动电极，与所述固定电极在沿着所述X轴的方向上相对配置；以及
质量部，支承所述可动电极，沿着所述Z轴的方向的长度比所述可动电极长。


2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，
所述质量部的沿着所述Z轴方向的长度比所述固定电极长。


3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，
所述可动电极和所述固定电极的沿着所述Z轴方向的长度相等。


4.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，
所述传感器元件具有：
固定部，固定于所述基板；以及
弹簧，连接所述固定部与所述可动部。


5.根据权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于，
所述弹簧的沿着所述Z轴方向的方向的长度比所述质量部短。


6.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，
所述固定电极具有在沿着Y轴的方向上排列配置的第一固定电极以及第二固定电极，
所述第一固定电极具有：
第一主干部；以及
多个第一固定电极指，从所述第一主干部向沿着所述Y轴的方向的两侧延伸，
所述第二固定电极具有：
第二主干部；以...

【专利技术属性】
技术研发人员：松浦由幸，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP