下载物理量传感器、电子设备以及移动体的技术资料

文档序号:24250575

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本申请公开了具有优异的检测灵敏度的物理量传感器、电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器具有:基板,将沿着Z轴的方向作为厚度方向;以及传感器元件,设置于所述基板,并检测物理量,所述传感器元件具有:可动部,相对于所述基板在沿着作为所述物理量的...
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