一种双层膜特气管路制造技术

本实用新型专利技术提供了一种双层膜特气管路，其中，包括两组特气管路，在第一组特气管路与第二组特气管路上分别设置有流量计；在每根特气管上均设置有特气孔；第一及第二特气管上的特气孔数量相同，第三和/或第四特气管上的特气孔数量多于第一特气管上特气孔数量；第五及第六特气管上的特气孔数量相同，第七和/或第八特气管上的特气孔数量多于第五特气管上特气孔数量。本实用新型专利技术特气孔孔径增大，是特气气流更加均匀、电离充分，易清理。第三和/或第四特气管、第七和/或第八特气管上特气孔数量增多，且特气孔以中间密集两端疏松的规则设置，特气孔间间距由中间向两端逐渐增大，可补偿石墨板变形造成的影响，提高电池片质量。

A double film special gas pipeline

【技术实现步骤摘要】
一种双层膜特气管路
本技术涉及光伏领域，具体地说是一种双层膜特气管路。
技术介绍
现有的平板式PECVD进气结构一般采用在特气管道和敷层防护槽相贴的壁上均匀开进气孔的方式进气，常规板式PECVD设备有八组硅烷特气管路，前四组控制第一层膜厚使用一个流量计，后四组控制第二层膜厚使用一个流量计，22个1mm孔径的硅烷特气孔等距50mm排布于一组硅烷特气孔管路上。双层膜要求前四组和后四组硅烷及氨气流量有明显的比例差异，在特气管路量程范围内调控空间较小，复合膜的高折射率使电池片色差加剧，色系增加。由于产能提升的需求，石墨框由原来的承载5*9片电池片改成承载5*10片电池片，石墨框边条变窄，承重能力严重降低，变形更加严重，出现中间底两边高的情况，石墨板中间位置电池片接受微波源及特气能力降低，使电池片色差加剧，色系增加。客户对电池片颜色一致性要求日益提高，在线成品片色系多且杂乱，分选难度大，浪费人力成本，直接影响终产品组件外观，产生不良项和降级项，给公司造成不必要的经济损失。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种双层膜特气管路，以解决现有的供气方式成品质量差的问题。本技术是这样实现的：一种双层膜特气管路，其中，包括两组特气管路，在第一组特气管路与第二组特气管路上分别设置有流量计；第一组特气管路包括第一特气管至第四特气管，共四根特气管，第二组特气管路包括第五特气管至第八特气管，共四根特气管；在每根所述特气管上均设置有特气孔；第一及第二特气管上的特气孔数量相同，第三和/或第四特气管上的特气孔数量多于第一特气管上特气孔数量；第五及第六特气管上的特气孔数量相同，第七和/或第八特气管上的特气孔数量多于第五特气管上特气孔数量。优选的，每根所述特气管上的特气孔均沿各自特气管的长度方向设置。优选的，所述特气孔的孔径为1.1-1.2㎜。优选的，所述第三和/或第四特气管上的特气孔数量较第一特气管上特气孔数量多2-4个。优选的，所述第七和/或第八特气管上的特气孔数量较第五特气管上特气孔数量多2-4个。优选的，所述第三和/或第四特气管上的特气孔在特气管上呈中间密集两边疏松的方式设置。优选的，所述第七和/或第八特气管上的特气孔在特气管上呈中间密集两边疏松的方式设置。优选的，所述第三和/或第四特气管上的位于中间的两特气孔的中心间距40㎜。采用上述技术方案，本技术特气孔孔径增大，是特气气流更加均匀、电离充分，易清理。第三和/或第四特气管、第七和/或第八特气管上特气孔数量增多，且特气孔以中间密集两端疏松的规则设置，特气孔间间距由中间向两端逐渐增大，可补偿石墨板变形造成的影响，提高电池片质量。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术的其中一组特气管的结构示意图。图中：1—特气管，2—特气孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1所示，本技术提供了一种双层膜特气管路，包括两组特气管路，在第一组特气管路与第二组特气管路上分别设置有流量计。本技术共包括有8根特气管，第一组特气管路包括第一特气管至第四特气管，共四根特气管1，第二组特气管路包括第五特气管至第八特气管，共四根特气管；在每根特气管上均设置有特气孔2。第一组特气管会影响第一层氮化硅膜折射率，第二组特气管会影响第二层氮化硅膜折射率。每根特气管上的特气孔均沿各自特气管的长度方向设置。在第一组特气管中，第一及第二特气管上的特气孔数量相同，均为22个。第三和/或第四特气管上的特气孔数量多于第一特气管上特气孔数量。在第二组特气管中，第五及第六特气管上的特气孔数量相同，均为22个。第七和/或第八特气管上的特气孔数量多于第五特气管上特气孔数量。本技术的特气孔2的孔径为1.1-1.2㎜。相比常见的1㎜孔径的特气孔，加大孔径，流量更均匀，电离更充分，镀膜致密性好，降低色差，减少色系，成品质量好。优选的，本技术的第三和/或第四特气管上的特气孔数量较第一特气管上特气孔数量多2-4个。第七和/或第八特气管上的特气孔数量较第五特气管上特气孔数量多2-4个。第三和/或第四特气管上的特气孔在特气管上呈中间密集两边疏松的方式设置。第七和/或第八特气管上的特气孔在特气管上呈中间密集两边疏松的方式设置。常见的特气孔间距为50㎜，本技术第三、第四、第七、第八特气管上的特气孔，呈中间密集两边疏松方式设置，中间两特气孔间距为40㎜，由中心向两端，孔间距逐渐增大，最外侧两特气孔间距为50㎜。变间距的特气孔，可补偿石墨板变形造成中间折射率的影响，减少折射率极差，降低色差，减少色系，且大量降低了分选人力成本。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双层膜特气管路，其特征是，包括两组特气管路，在第一组特气管路与第二组特气管路上分别设置有流量计；/n第一组特气管路包括第一特气管至第四特气管，共四根特气管，第二组特气管路包括第五特气管至第八特气管，共四根特气管；在每根所述特气管上均设置有特气孔；/n第一及第二特气管上的特气孔数量相同，第三和/或第四特气管上的特气孔数量多于第一特气管上特气孔数量；第五及第六特气管上的特气孔数量相同，第七和/或第八特气管上的特气孔数量多于第五特气管上特气孔数量。/n

【技术特征摘要】
1.一种双层膜特气管路，其特征是，包括两组特气管路，在第一组特气管路与第二组特气管路上分别设置有流量计；
第一组特气管路包括第一特气管至第四特气管，共四根特气管，第二组特气管路包括第五特气管至第八特气管，共四根特气管；在每根所述特气管上均设置有特气孔；
第一及第二特气管上的特气孔数量相同，第三和/或第四特气管上的特气孔数量多于第一特气管上特气孔数量；第五及第六特气管上的特气孔数量相同，第七和/或第八特气管上的特气孔数量多于第五特气管上特气孔数量。


2.根据权利要求1所述的一种双层膜特气管路，其特征是，每根所述特气管上的特气孔均沿各自特气管的长度方向设置。


3.根据权利要求1所述的一种双层膜特气管路，其特征是，所述特气孔的孔径为1.1-1.2㎜。

【专利技术属性】
技术研发人员：卢春伟，李会玲，冯丽娟，杨帆，闫红，
申请(专利权)人：保定光为绿色能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13