【技术实现步骤摘要】
一种蚀刻设备的精密温控系统
本专利技术涉及蚀刻设备
，具体为一种蚀刻设备的精密温控系统。
技术介绍
蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，蚀刻技术可以分为湿蚀刻和干蚀刻两类，通常所指蚀刻也称光化学蚀刻，指通过曝光制版、显影后，将要蚀刻区域的保护膜去除，在蚀刻时接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用，形成凹凸或者镂空成型的效果。一般的蚀刻设备是通过系统控制设备的运行，所有步骤都需要进行单独的管理和操作，根据工人的操作达到改变设备内部各个部分运行速度的效果。这样单独控制使得系统操作麻烦，对系统不能进行有效管理，达不到自动化的效果。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种蚀刻设备的精密温控系统，解决了设备不能自动化运行的问题。(二)技术方案为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种蚀刻设备的精密温控系统，包括机体，所述机体的上方左侧固定连接有控水装置，所述控水装置的输出端连接有进水管，所述控水装置的输入端通过皮带与第一传送带...
【技术保护点】
1.一种蚀刻设备的精密温控系统，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的上方左侧固定连接有控水装置(2)，所述控水装置(2)的输出端连接有进水管(3)，所述控水装置(2)的输入端通过皮带与第一传送带(4)的传动轮转动连接，所述第一传送带(4)的中部与机体(1)固定连接，所述机体(1)的内部左上方设置有第一清洗室(5)，所述第一清洗室(5)的内部上方设置有第一清洗装置(6)，所述第一清洗装置(6)的输入端与进水管(3)连通，所述第一清洗室(5)的内部下方设置有第一蓄水池(7)，所述第一清洗室(5)的下方设置有第二清洗室(8)，所述第二清洗室(8)的内部上方设置有第二清洗装...
【技术特征摘要】
1.一种蚀刻设备的精密温控系统，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的上方左侧固定连接有控水装置(2)，所述控水装置(2)的输出端连接有进水管(3)，所述控水装置(2)的输入端通过皮带与第一传送带(4)的传动轮转动连接，所述第一传送带(4)的中部与机体(1)固定连接，所述机体(1)的内部左上方设置有第一清洗室(5)，所述第一清洗室(5)的内部上方设置有第一清洗装置(6)，所述第一清洗装置(6)的输入端与进水管(3)连通，所述第一清洗室(5)的内部下方设置有第一蓄水池(7)，所述第一清洗室(5)的下方设置有第二清洗室(8)，所述第二清洗室(8)的内部上方设置有第二清洗装置(9)，第二清洗装置(9)的输入端通过管道与第一蓄水池(7)的下方连通，所述第二清洗室(8)的下方设置有第二蓄水池(10)，所述机体(1)的内部中上方设置有第一烘干室(11)，所述第一烘干室(11)的内部上方固定安装有第一烘干器(12)，所述第一烘干室(11)的下方设置有腐蚀室(13)，所述机体(1)的内部右侧设置有准备室(14)，所述机体(1)的内部左下方设置有第二烘干室(15)，所述第二烘干室(15)的内部上方固定安装有第二烘干器(16)，所述机体(1)的内部下方还固定连接有第二传送带(17)；
所述控水装置(2)包括有控水装置盒(201)、活动轮(202)、第一活杆(203)、第二活杆(204)、滑槽(205)、滑块(206)、运输管(207)、进水孔(208)和出水孔(209)，所述控水装置盒(201)的前部右侧设置有滑槽(205)，所述控水装置盒(201)的底部与机体(1)的上方左侧固定连接，所述控水装置盒(201)的前部通过轴承转动连接有活动轮(202)，所述活动轮(202)的前部与第一活杆(203)的一端转动连接，所述第一活杆(203)另一端与第二活杆(204)的一端转动连接，所述第二活杆(204)的另一端与滑块(206)铰接，所述滑块(206)的后侧与滑槽(205)滑动连接，所述滑块(206)的右侧设置有运输管(207)，所述运输管(207)远离滑块(206)的一端与进水管(3)套接，所述运输管(207)的右上方开设有进水孔(208)，所述运输管(207)的下侧开设有出水孔(209)；
所述第一清洗装置(6)包括有水压增压器(601)、伸缩杆(602)、套管(603)、上喷盘(604)、下喷盘(605)、软管(606)、喷头(607)和清洗管(608)，所述清洗管(608)的一端与进水管(3)连通，所述清洗管(608)的中部固定安装有水压增压器(601)，所述水压增压器(601)的底部固定连接有伸缩杆(602)，所述水压增压器(601)的底部还转动连接有套管(603)，所述套管(60...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈灏，
申请(专利权)人：绍兴华立电子有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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