【技术实现步骤摘要】
柔性应变传感器及其制作方法
本专利技术涉及应变测量领域，具体涉及一种柔性应变传感器及其制作方法。
技术介绍
由于基于裂纹层叠结构的应变传感器具有较高的灵敏度，其被广泛应用于电子皮肤领域，以对外界刺激如压力、应变和温度等进行响应。然而该类型柔性应变传感器在实际应用中仍有很大的局限性，首先由于应变传感器的衬底较厚，导致了其较低的机械顺从性，进而限制了应变传感器在不同弯曲表面的应用。其次，在制备应变传感器时，其导电薄膜的活性材料成本高，制备过程复杂，而且该类型的传感器无法对微小应变的刺激进行响应。
技术实现思路
有鉴于此，为了克服上述问题的至少一个方面，本专利技术的实施例提供一种柔性应变传感器，该柔性应变传感器包括衬底以及金属薄膜层，所述金属薄膜层形成在所述衬底上；其中，所述衬底的厚度为10μm-25μm。进一步地，所述衬底的厚度为15μm。进一步地，所述衬底采用弹性高分子聚合物制成。进一步地，所述弹性高分子聚合物包括聚二甲基硅氧烷。进一步地，其特征在于，所述金属薄膜层具有裂纹层...
【技术保护点】
1.一种柔性应变传感器，包括：/n衬底；以及/n金属薄膜层，所述金属薄膜层形成在所述衬底上；/n其中，所述衬底的厚度为10μm-25μm。/n
【技术特征摘要】
1.一种柔性应变传感器，包括：
衬底；以及
金属薄膜层，所述金属薄膜层形成在所述衬底上；
其中，所述衬底的厚度为10μm-25μm。
2.如权利要求1所述的柔性应变传感器，其特征在于，所述衬底的厚度为15μm。
3.如权利要求1或2所述的柔性应变传感器，其特征在于，所述衬底采用弹性高分子聚合物制成。
4.如权利要求3所述的柔性应变传感器，其特征在于，所述弹性高分子聚合物包括聚二甲基硅氧烷。
5.如权利要求1-4中任一项所述的柔性应变传感器，其特征在于，所述金属薄膜层具有裂纹层叠结构。
6.如权利要求1-5中任一项所述的柔性应变传感器，其特征在于，所述金属薄膜层采用金、银、铝或氧化铟锡制成，优选采用银制成。
7.如权利要求1-6中任一项所述的柔性应变传感器，其特征在于，所述金属薄膜层包括成“工”字型设置的金属薄膜层第一部分、金属薄膜层第二部分和金属薄膜层第三部分，所述金属薄膜层第二部分位于所述金属薄膜层第一部分和金属薄膜层第三部分之间。
8.如权利要求7所述的柔性应变传感器，其特征在于，所述金属薄膜层第二部分的尺寸为1mm×2mm-100mm×200mm；所述金属薄膜层第一部分和所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘曹峰，鲍容容，李静，
申请(专利权)人：北京纳米能源与系统研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11
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