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柔性应变传感器及其制作方法技术
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文档序号:24201360
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本发明公开了一种柔性应变传感器,包括:衬底;以及金属薄膜层,所述金属薄膜层形成在衬底上;其中,所述衬底的厚度为10μm‑25μm。根据本发明公开的应变传感器,金属薄膜层可以快速灵敏地对外界应变进行响应,而且采用厚度为10μm‑25μm的衬底...
该专利属于北京纳米能源与系统研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京纳米能源与系统研究所授权不得商用。
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