检查装置和检查方法以及程序制造方法及图纸

本公开涉及一种能够检查图像拾取元件的性能的检查装置、检查方法以及程序。产生准直光，并且一部分准直光透过透过滤光器，所述透过滤光器具有设置有规则配置的圆形孔的遮光面，从而转换为规则配置的圆柱状准直光的光线。包括规则配置的圆柱状准直光的光线的图像由被检查的图像拾取元件捕获。然后，获取由被检查的图像拾取元件捕获的图像与由理想图像拾取元件捕获的理想图像之间的差分，并且通过差分和阈值之间的比较，检查被检查的图像拾取元件的性能。本公开可以适用于图像拾取装置的制造。

Inspection devices, inspection methods and procedures

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检查装置和检查方法以及程序
本公开涉及检查装置和检查方法以及程序，特别地涉及能够简单地检查安装在固态图像拾取元件上的透镜的形状或者检查固态图像拾取元件上的玻璃面的检查装置和检查方法以及程序。
技术介绍
近年来，对于配备有相机的移动终端设备或数字静态相机中使用的固态图像拾取元件，已经推进了高像素化、小型化和轮廓减小。作为针对小型化和薄型化的技术，典型地，固态图像拾取元件被改进为芯片尺寸封装(CSP)固态图像拾取元件，并且另外利用两组构成作为透镜构成，最下部透镜配置在CSP固态图像拾取元件上。然而，已知的是，由于厚度减小的影响，CSP固态图像拾取元件在制造时翘曲或弯曲，或者所形成的最下部透镜的形状变形。配备有其中形成有形状不良透镜的CSP固态图像拾取元件的固态图像拾取装置自然是不良的，从而导致成品率下降。因此，考虑适用测量透镜的表面形状的技术(专利文献1)。引用文献列表专利文献专利文献1：日本特开第2006-058313号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题因为专利文献本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检查装置，包括：/n准直光产生单元，其构造成产生准直光；/n透过滤光器，其构造成透过一部分的准直光并遮挡与该部分的准直光不同的另一部分的准直光；/n图像拾取元件，其构造成捕获包括由所述透过滤光器透过的该部分准直光的图像；和/n检查单元，其构造成将由所述图像拾取元件捕获的图像与由理想图像拾取元件捕获的理想图像进行比较，以检查所述图像拾取元件。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171004 JP 2017-1944771.一种检查装置，包括：
准直光产生单元，其构造成产生准直光；
透过滤光器，其构造成透过一部分的准直光并遮挡与该部分的准直光不同的另一部分的准直光；
图像拾取元件，其构造成捕获包括由所述透过滤光器透过的该部分准直光的图像；和
检查单元，其构造成将由所述图像拾取元件捕获的图像与由理想图像拾取元件捕获的理想图像进行比较，以检查所述图像拾取元件。


2.根据权利要求1所述的检查装置，其中
所述透过滤光器具有包括遮光面的平面并且具有用于允许所述准直光透过的孔部，所述孔部规则地配置在所述遮光面上。


3.根据权利要求2所述的检查装置，其中
在包括所述透过滤光器的遮光面的平面上的多个孔部的形状为圆形、四边形或三角形。


4.根据权利要求2所述的检查装置，其中
在包括所述透过滤光器的遮光面的平面上的孔部的形状为直线状或格子状。


5.根据权利要求1所述的检查装置，其中
所述图像拾取元件包括
芯片尺寸封装(CSP)固态图像拾取元件，其构造成捕获包括与入射光量相对应的像素信号的图像，和
透镜，其构造成将入射光会聚到所述CSP固态图像拾取元件。


6.根据权利要求5所述的检查装置，其中
所述透镜是下部透镜，所述下部透镜是会聚接收到的光的多个透镜的透镜组的一部分、位于所述图像拾取元件的前侧并且配置成比作为所述透镜组的一部分的上部透镜更靠近所述图像拾取元件，并且是所述透镜组的与所述透镜组的前述一部分不同的另一部分。


7.根据权利要求6所述的检查装置，其中
所述下部透镜包括多个透镜。


8.根据权利要求5所述的检查装置，还包括：
光吸收材料，其具有吸收光的功能并且被设置为覆盖所述图像拾取元件的侧面和所述透镜的外周部，其中
所述检查单元将由于通过外周部用所述光吸收材料部分覆盖的透镜的会聚所发生的由所述图像拾取元件上的不敏感区域以外的图像拾取元件捕获的图像与由所述理想图像拾取元件捕获的理想图像进行比较，以检查所述图像...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村胜治，山中寛之，古川勇治，原田康平，高桥浩典，后藤启幸，龙平一郎，馆林克明，
申请(专利权)人：索尼半导体解决方案公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP