下载检查装置和检查方法以及程序的技术资料

文档序号:24178901

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本公开涉及一种能够检查图像拾取元件的性能的检查装置、检查方法以及程序。产生准直光,并且一部分准直光透过透过滤光器,所述透过滤光器具有设置有规则配置的圆形孔的遮光面,从而转换为规则配置的圆柱状准直光的光线。包括规则配置的圆柱状准直光的光线的图...
该专利属于索尼半导体解决方案公司所有,仅供学习研究参考,未经过索尼半导体解决方案公司授权不得商用。

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