【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于进行高效低温涂覆的涂覆设备本专利技术涉及涂覆设备，其具有允许从涂覆室内部至外部的提高的散热的布置，从而可以进行高效低温涂覆过程。
技术介绍
作为真空涂覆室用于进行真空涂覆过程的真空室通常配备有可移除保护屏蔽部件，它们覆盖真空涂覆室壁的内表面地布置，从而这些屏蔽部件能保护所覆盖的内表面在涂覆过程中被无意涂覆。当涂覆室壁的内表面不可避免地在涂覆过程中被涂覆时，可能出现涂层累积，并且在这些条件下所制造的涂覆产品的涂层质量可能受到影响。这可能发生例如是因为由累积涂层的不可控的脱层造成的涂覆污染。也可能的是在涂覆过程中的不希望的条件变化导致了不足的涂层性能，造成这一情况的原因例如可能是：非传导性材料制造的涂层之累积所招致的电弧。这种保护屏蔽部件的使用牵涉到明显的优点。主要优点是保护屏蔽部件的表面被涂覆而不是涂覆室壁的内表面。这样一来，可以在一个或多个涂覆过程之后从涂覆室取出保护屏蔽部件并且以容易的方式去除沉积在保护屏蔽部件表面的涂层，例如通过使用已知的化学或机械剥离法例如喷砂。图1示出被用作真空涂覆室的传统的真空室(1)，其包括...
【技术保护点】
1.一种涂覆设备，包括用于进行真空涂覆过程的真空涂覆室，所述真空涂覆室包括：/n-一个或多个被冷却室壁(1)，其具有内侧(1b)和被冷却侧(1a)，/n-保护屏蔽部件，其作为一个或多个可移除屏蔽板(2)布置在该室的内部，其遮挡所述一个或多个被冷却室壁(1)的内侧(1b)的表面的至少一部分，/n其中，至少一个可移除屏蔽板(2)相对于被所述可移除屏蔽板(2)遮挡的被冷却室壁(1)的内侧(1b)表面形成间隙(8)地安放，/n其特征是，/n-导热机构(9)以对应于被所述可移除屏蔽板(2)遮挡的被冷却室壁(1)的内侧(1b)的整个表面的至少一部分的程度填充该间隙(8)地布置，其中，所...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170802 CH 00993/171.一种涂覆设备，包括用于进行真空涂覆过程的真空涂覆室，所述真空涂覆室包括：
-一个或多个被冷却室壁(1)，其具有内侧(1b)和被冷却侧(1a)，
-保护屏蔽部件，其作为一个或多个可移除屏蔽板(2)布置在该室的内部，其遮挡所述一个或多个被冷却室壁(1)的内侧(1b)的表面的至少一部分，
其中，至少一个可移除屏蔽板(2)相对于被所述可移除屏蔽板(2)遮挡的被冷却室壁(1)的内侧(1b)表面形成间隙(8)地安放，
其特征是，
-导热机构(9)以对应于被所述可移除屏蔽板(2)遮挡的被冷却室壁(1)的内侧(1b)的整个表面的至少一部分的程度填充该间隙(8)地布置，其中，所述导热机构(9)允许在所述可移除屏蔽板(2)与相应被遮挡的被冷却室壁(1)之间的导热传递。
2.一种涂覆设备，包括用于进行真空涂覆过程的真空涂覆室，所述真空涂覆室包括多个侧向室壁、布置在该室的内部的保护屏蔽部件和一个或多个布置在所述侧向室壁之一处的涂覆源，其中，
-所述侧向壁中的一个或多个是具有内侧(1b)和被冷却侧(1a)的被冷却室壁(1)，一个或多个所述保护屏蔽部件作为可移除屏蔽板(2)是按照遮挡设置有一个或多个涂覆源的被冷却侧向室壁(1)之一的内侧(1b)表面的至少一部分的方式布置的，
其中，所述可移除屏蔽板(2)的至少一个相对于被所述可移除屏蔽板(2)遮挡的被冷却侧向室壁(1)的内侧(1b)表面形成间隙(8)地安放，
其特征是，
导热机构(9)以对应于被所述至少一个可移除屏蔽板(2)遮挡的被冷却侧向室壁(1)的内侧(1b)的整个表面的至少一部分的程度填充该间隙(8)地布置，其中，所述导热机构(9)允许在所述至少一个可移除屏蔽板(2)与被冷却侧向室壁(1)的相应被遮挡的部分之间的导热传递。
3.根据权利要求2的涂覆设备，其特征是，所述至少一个可移除屏蔽板(2)和被冷却侧向室壁(1)的相应被遮挡的部分二者包括配备有设计成配对体的导热机构的接触区，所述配对体包括用于允许所述配对体的暂时夹紧的夹紧机构，其中，所述配对体在所述配对体暂时夹紧过程中是导热连接的。
4.根据前述权利要求1至3之一的涂覆设备，其特征是，该导热机构(9...
【专利技术属性】
技术研发人员：西格弗里德·克拉斯尼策，塞巴斯蒂恩·吉蒙德，
申请(专利权)人：欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔，
类型：发明
国别省市：瑞士;CH
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。