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本发明涉及涂覆设备，包括用于进行真空涂覆过程的真空涂覆室，所述真空涂覆室包括：一个或多个被冷却室壁(1)，其具有内侧(1b)和被冷却侧(1a)；保护屏蔽部件，其作为一个或多个遮挡所述一个或多个被冷却室壁(1)的内侧(1b)的表面的至少一部分...该专利属于欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔所有，仅供学习研究参考，未经过欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔授权不得商用。
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本发明涉及涂覆设备，包括用于进行真空涂覆过程的真空涂覆室，所述真空涂覆室包括：一个或多个被冷却室壁(1)，其具有内侧(1b)和被冷却侧(1a)；保护屏蔽部件，其作为一个或多个遮挡所述一个或多个被冷却室壁(1)的内侧(1b)的表面的至少一部分...