【技术实现步骤摘要】
一种半导体厂用CMP废水高效回收设备
本技术涉及污水处理领域，更具体地说，本实用涉及一种半导体厂用CMP废水高效回收设备。
技术介绍
半导体工业是一个十分依赖水资源的行业，也是高耗水的行业，尤其在水资源有限的情形下，限水、缺水对半导体生产企业的营运产生巨大压力，因此，对半导体生产企业节约用水的研究与实践，有助于提升用水效益，降低用水成本，目前，节约用水、中水回用、废水的回收利用已成为半导体业者应对缺水危机的重要措施，特别是废水的回收利用，既能减少对水资源的需求，又能降低生产成本，同时也减少对环境的污染。现有的对CMP废水的回收设备在使用过程中对废水的过滤效果不佳，且过滤后不方便对滤网进行清洗，同时不便于对污水处理箱内部的异味进行吸收净化处理。
技术实现思路
为了克服现有技术的上述缺陷，本技术的实施例提供一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，便于对废水进行多重过滤处理，且便于对滤网板表面附着的杂质进行冲洗，减少了人为取出清理的麻烦，节省了时间，并能够污水处理箱内部的部分异味进行吸收净化处理。为实...
【技术保护点】
1.一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，包括污水处理箱(1)，其特征在于：所述污水处理箱(1)的前表面设置有控制开关(30)，且污水处理箱(1)的内部设置有沉淀槽(5)，所述污水处理箱(1)的顶部位于沉淀槽(5)的上方设置有进液管口(2)，且污水处理箱(1)的外壁位于进液管口(2)的外侧安装有格栅网箱(3)，所述格栅网箱(3)的外壁连接有进液管(4)，所述污水处理箱(1)的顶部外壁靠近进液管口(2)的下方位置处连接有溢流管(6)，所述沉淀槽(5)的顶部插设有第一吸液管(7)，所述第一吸液管(7)的顶端连接在第一水泵(8)的进液端，所述污水处理箱(1)的内部位于沉淀槽(5)...
【技术特征摘要】
1.一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，包括污水处理箱(1)，其特征在于：所述污水处理箱(1)的前表面设置有控制开关(30)，且污水处理箱(1)的内部设置有沉淀槽(5)，所述污水处理箱(1)的顶部位于沉淀槽(5)的上方设置有进液管口(2)，且污水处理箱(1)的外壁位于进液管口(2)的外侧安装有格栅网箱(3)，所述格栅网箱(3)的外壁连接有进液管(4)，所述污水处理箱(1)的顶部外壁靠近进液管口(2)的下方位置处连接有溢流管(6)，所述沉淀槽(5)的顶部插设有第一吸液管(7)，所述第一吸液管(7)的顶端连接在第一水泵(8)的进液端，所述污水处理箱(1)的内部位于沉淀槽(5)的一侧设置有过滤槽(10)，所述过滤槽(10)的内部交错连接有滤网板(11)，所述第一水泵(8)的出液端连接有第一出液管(9)，所述第一出液管(9)的底端插设在过滤槽(10)的顶部，所述过滤槽(10)的底部连接有排污管(12)，所述排污管(12)的底部位于污水处理箱(1)的外侧连接有液体电磁阀(13)，所述过滤槽(10)的顶部位于第一出液管(9)的一侧插设有水管(14)，所述水管(14)的一端穿过污水处理箱(1)的外壁连接在第二水泵(15)的出液端，所述第二水泵(15)的进液端管体与外部清水池连接，所述过滤槽(10)的底部外侧通过管体连接有第三水泵(16)，所述污水处理箱(1)的内部位于第三水泵(16)的一侧设置有试剂处理槽(17)，所述第三水泵(16)的出液管连接在试剂处理槽(17)的顶部，所述污水处理箱(1)的外壁靠近试剂处理槽(17)的顶部外侧连接有第四水泵(19)，且污水处理箱(1)的外壁靠近第四水泵(19)的上方位置处设置有试剂投入口(29)，所述第四水泵(19)的出液管位于污水处理箱(1)的一侧连接有水箱(20)，所述污水处理箱(1)的顶部安装有异味清理机构；
所述异味清理机构包括连接在污水处理箱(1)顶端的负压引风罩(21)，所述负压引风罩(21)的顶端连接有第一气管(22)，所述第一气管(22)的一端连接在抽风机(23)的进风端，所述抽风机(23)的出风端连接有第二气管(24)，所述第二气管(...
【专利技术属性】
技术研发人员：海洋，
申请(专利权)人：南京大恒林瑞精密机械设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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