一种半导体厂用CMP废水高效回收设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，具体涉及污水处理领域，包括污水处理箱，所述污水处理箱的前表面设置有控制开关，且污水处理箱的内部设置有沉淀槽，所述污水处理箱的顶部位于沉淀槽的上方设置有进液管口，且污水处理箱的外壁位于进液管口的外侧安装有格栅网箱，所述沉淀槽的顶部插设有第一吸液管，所述第一吸液管的顶端连接在第一水泵的进液端，所述污水处理箱的内部位于沉淀槽的一侧设置有过滤槽，所述过滤槽的内部交错连接有滤网板。本实用新型专利技术便于对废水进行多重过滤处理，且便于对滤网板表面附着的杂质进行冲洗，减少了人为取出清理的麻烦，并能够污水处理箱内部的部分异味进行吸收净化处理。

An efficient CMP wastewater recovery equipment for semiconductor plant

【技术实现步骤摘要】
一种半导体厂用CMP废水高效回收设备
本技术涉及污水处理领域，更具体地说，本实用涉及一种半导体厂用CMP废水高效回收设备。
技术介绍
半导体工业是一个十分依赖水资源的行业，也是高耗水的行业，尤其在水资源有限的情形下，限水、缺水对半导体生产企业的营运产生巨大压力，因此，对半导体生产企业节约用水的研究与实践，有助于提升用水效益，降低用水成本，目前，节约用水、中水回用、废水的回收利用已成为半导体业者应对缺水危机的重要措施，特别是废水的回收利用，既能减少对水资源的需求，又能降低生产成本，同时也减少对环境的污染。现有的对CMP废水的回收设备在使用过程中对废水的过滤效果不佳，且过滤后不方便对滤网进行清洗，同时不便于对污水处理箱内部的异味进行吸收净化处理。
技术实现思路
为了克服现有技术的上述缺陷，本技术的实施例提供一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，便于对废水进行多重过滤处理，且便于对滤网板表面附着的杂质进行冲洗，减少了人为取出清理的麻烦，节省了时间，并能够污水处理箱内部的部分异味进行吸收净化处理。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，包括污水处理箱，所述污水处理箱的前表面设置有控制开关，且污水处理箱的内部设置有沉淀槽，所述污水处理箱的顶部位于沉淀槽的上方设置有进液管口，且污水处理箱的外壁位于进液管口的外侧安装有格栅网箱，所述格栅网箱的外壁连接有进液管，所述污水处理箱的顶部外壁靠近进液管口的下方位置处连接有溢流管，所述沉淀槽的顶部插设有第一吸液管，所述第一吸液管的顶端连接在第一水泵的进液端，所述污水处理箱的内部位于沉淀槽的一侧设置有过滤槽，所述过滤槽的内部交错连接有滤网板，所述第一水泵的出液端连接有第一出液管，所述第一出液管的底端插设在过滤槽的顶部，所述过滤槽的底部连接有排污管，所述排污管的底部位于污水处理箱的外侧连接有液体电磁阀，所述过滤槽的顶部位于第一出液管的一侧插设有水管，所述水管的一端穿过污水处理箱的外壁连接在第二水泵的出液端，所述第二水泵的进液端管体与外部清水池连接，所述过滤槽的底部外侧通过管体连接有第三水泵，所述污水处理箱的内部位于第三水泵的一侧设置有试剂处理槽，所述第三水泵的出液管连接在试剂处理槽的顶部，所述污水处理箱的外壁靠近试剂处理槽的顶部外侧连接有第四水泵，且污水处理箱的外壁靠近第四水泵的上方位置处设置有试剂投入口，所述第四水泵的出液管位于污水处理箱的一侧连接有水箱，所述污水处理箱的顶部安装有异味清理机构；所述异味清理机构包括连接在污水处理箱顶端的负压引风罩，所述负压引风罩的顶端连接有第一气管，所述第一气管的一端连接在抽风机的进风端，所述抽风机的出风端连接有第二气管，所述第二气管的一端连接在净化箱的外壁，所述净化箱的另一外壁连接有第三气管，所述第二气管上靠近净化箱的外侧设置有第一气体电磁阀，所述第三气管上靠近净化箱的外侧设置有第二气体电磁阀。在一个优选地实施方式中，所述净化箱的内部安装有活性炭芯组，且净化箱的内部位于活性炭芯组的上方安装有加热器，所述净化箱的内壁设置有隔热层。在一个优选地实施方式中，所述活性炭芯组包括均匀设置的活性炭芯棒，所述活性炭芯棒的两端均连接有固定板。在一个优选地实施方式中，所述第二水泵和第四水泵的底部均设置有支撑板，支撑板与污水处理箱的外壁之间通过螺栓连接。在一个优选地实施方式中，所述滤网板与过滤槽的内壁之间的连接方式为焊接，且滤网板的底部倾斜向下设置。在一个优选地实施方式中，所述净化箱的外壁通过合页转动连接有检修门，检修门内壁与净化箱的连接处设置有密封垫。在一个优选地实施方式中，所述第四水泵输入端与试剂处理槽之间设有第二吸液管，所述第二吸液管和溢流管的外部与污水处理箱的内壁连接处均设置有密封圈。在一个优选地实施方式中，所述污水处理箱的顶部对应负压引风罩的底部位置处设置有通孔，所述负压引风罩与污水处理箱的顶端之间通过螺栓连接。本技术的技术效果和优点：1、本技术通过在过滤槽的内部交错连接有滤网板，滤网板的底部倾斜向下设置，便于在废水落下过程中持续的对废水进行多重过滤处理，并通过设置排污管、液体电磁阀、水管和第二水泵，第二水泵的进液端管体与外部清水池连接，当需要对滤网板进行清理时，避免滤网板的内部网孔堵塞影响使用效果，通过启动第二水泵，并开启液体电磁阀，通过水管对滤网板的顶部使用清水进行冲洗，减少滤网板表面附着的杂质，减少了人为取出清理的麻烦，节省了时间；2、本技术通过在污水处理箱的顶部安装有异味清理机构，使用时，通过启动抽风机，使负压引风罩的内部形成负压，使污水处理箱内部的废水散发的异味通过负压引风罩进行吸入，减少了污水处理箱内部的异味，并通过设置净化箱、第三气管、第一气体电磁阀和第二气体电磁阀，且净化箱的内部安装有活性炭芯组，便于将抽取的异味气体通过净化箱的内部进行净化处理，能够对异味废气中的有害物质进行吸附处理，提高对异味的清理效果，且在净化箱的内部安装有加热器，利用活性炭的高温再生原理，使长时间使用后吸附饱满的活性炭表面的附着物加热脱附后再次恢复活性，提高了活性炭的利用率，减少了更换活性炭的麻烦。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为本技术的主视图。图3为本技术中净化箱的内部结构示意图。图4为本技术中活性炭芯组的结构示意图。图5为本技术图1中A部分的放大图。附图标记为：1污水处理箱、2进液管口、3格栅网箱、4进液管、5沉淀槽、6溢流管、7第一吸液管、8第一水泵、9第一出液管、10过滤槽、11滤网板、12排污管、13液体电磁阀、14水管、15第二水泵、16第三水泵、17试剂处理槽、18第二吸液管、19第四水泵、20水箱、21负压引风罩、22第一气管、23抽风机、24第二气管、25净化箱、26第三气管、27第一气体电磁阀、28第二气体电磁阀、29试剂投入口、30控制开关、31活性炭芯组、32加热器、251隔热层、311活性炭芯棒、312固定板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术提供了一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，包括污水处理箱1，所述污水处理箱1的前表面设置有控制开关30，且污水处理箱1的内部设置有沉淀槽5，所述污水处理箱1的顶部位于沉淀槽5的上方设置有进液管口2，且污水处理箱1的外壁位于进液管口2的外侧安装有格栅网箱3，所述格栅网箱3的外壁连接有进液管4，所述污水处理箱1的顶部外壁靠近进液管口2的下方位置处连接有溢流管6，所述沉淀槽5的顶部插设有第一吸液管7，所述第一吸液管7的顶端连接在第一水泵8的进液端，所述污水处理箱1的内部位于沉淀槽本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，包括污水处理箱(1)，其特征在于：所述污水处理箱(1)的前表面设置有控制开关(30)，且污水处理箱(1)的内部设置有沉淀槽(5)，所述污水处理箱(1)的顶部位于沉淀槽(5)的上方设置有进液管口(2)，且污水处理箱(1)的外壁位于进液管口(2)的外侧安装有格栅网箱(3)，所述格栅网箱(3)的外壁连接有进液管(4)，所述污水处理箱(1)的顶部外壁靠近进液管口(2)的下方位置处连接有溢流管(6)，所述沉淀槽(5)的顶部插设有第一吸液管(7)，所述第一吸液管(7)的顶端连接在第一水泵(8)的进液端，所述污水处理箱(1)的内部位于沉淀槽(5)的一侧设置有过滤槽(10)，所述过滤槽(10)的内部交错连接有滤网板(11)，所述第一水泵(8)的出液端连接有第一出液管(9)，所述第一出液管(9)的底端插设在过滤槽(10)的顶部，所述过滤槽(10)的底部连接有排污管(12)，所述排污管(12)的底部位于污水处理箱(1)的外侧连接有液体电磁阀(13)，所述过滤槽(10)的顶部位于第一出液管(9)的一侧插设有水管(14)，所述水管(14)的一端穿过污水处理箱(1)的外壁连接在第二水泵(15)的出液端，所述第二水泵(15)的进液端管体与外部清水池连接，所述过滤槽(10)的底部外侧通过管体连接有第三水泵(16)，所述污水处理箱(1)的内部位于第三水泵(16)的一侧设置有试剂处理槽(17)，所述第三水泵(16)的出液管连接在试剂处理槽(17)的顶部，所述污水处理箱(1)的外壁靠近试剂处理槽(17)的顶部外侧连接有第四水泵(19)，且污水处理箱(1)的外壁靠近第四水泵(19)的上方位置处设置有试剂投入口(29)，所述第四水泵(19)的出液管位于污水处理箱(1)的一侧连接有水箱(20)，所述污水处理箱(1)的顶部安装有异味清理机构；/n所述异味清理机构包括连接在污水处理箱(1)顶端的负压引风罩(21)，所述负压引风罩(21)的顶端连接有第一气管(22)，所述第一气管(22) 的一端连接在抽风机(23)的进风端，所述抽风机(23)的出风端连接有第二气管(24)，所述第二气管(24)的一端连接在净化箱(25)的外壁，所述净化箱(25)的另一外壁连接有第三气管(26)，所述第二气管(24)上靠近净化箱(25)的外侧设置有第一气体电磁阀(27)，所述第三气管(26)上靠近净化箱(25)的外侧设置有第二气体电磁阀(28)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，包括污水处理箱(1)，其特征在于：所述污水处理箱(1)的前表面设置有控制开关(30)，且污水处理箱(1)的内部设置有沉淀槽(5)，所述污水处理箱(1)的顶部位于沉淀槽(5)的上方设置有进液管口(2)，且污水处理箱(1)的外壁位于进液管口(2)的外侧安装有格栅网箱(3)，所述格栅网箱(3)的外壁连接有进液管(4)，所述污水处理箱(1)的顶部外壁靠近进液管口(2)的下方位置处连接有溢流管(6)，所述沉淀槽(5)的顶部插设有第一吸液管(7)，所述第一吸液管(7)的顶端连接在第一水泵(8)的进液端，所述污水处理箱(1)的内部位于沉淀槽(5)的一侧设置有过滤槽(10)，所述过滤槽(10)的内部交错连接有滤网板(11)，所述第一水泵(8)的出液端连接有第一出液管(9)，所述第一出液管(9)的底端插设在过滤槽(10)的顶部，所述过滤槽(10)的底部连接有排污管(12)，所述排污管(12)的底部位于污水处理箱(1)的外侧连接有液体电磁阀(13)，所述过滤槽(10)的顶部位于第一出液管(9)的一侧插设有水管(14)，所述水管(14)的一端穿过污水处理箱(1)的外壁连接在第二水泵(15)的出液端，所述第二水泵(15)的进液端管体与外部清水池连接，所述过滤槽(10)的底部外侧通过管体连接有第三水泵(16)，所述污水处理箱(1)的内部位于第三水泵(16)的一侧设置有试剂处理槽(17)，所述第三水泵(16)的出液管连接在试剂处理槽(17)的顶部，所述污水处理箱(1)的外壁靠近试剂处理槽(17)的顶部外侧连接有第四水泵(19)，且污水处理箱(1)的外壁靠近第四水泵(19)的上方位置处设置有试剂投入口(29)，所述第四水泵(19)的出液管位于污水处理箱(1)的一侧连接有水箱(20)，所述污水处理箱(1)的顶部安装有异味清理机构；
所述异味清理机构包括连接在污水处理箱(1)顶端的负压引风罩(21)，所述负压引风罩(21)的顶端连接有第一气管(22)，所述第一气管(22)的一端连接在抽风机(23)的进风端，所述抽风机(23)的出风端连接有第二气管(24)，所述第二气管(...

【专利技术属性】
技术研发人员：海洋，
申请(专利权)人：南京大恒林瑞精密机械设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32