【技术实现步骤摘要】
固定装置及使用该固定装置的空心柱状器件测试设备
本专利技术涉及半导体器件检测设备
，尤其是涉及一种固定装置及使用该固定装置的空心柱状器件测试设备。
技术介绍
目前，半导体封装制造行业中，生产完成后的电路板通常需要进一步进行检测，确保电路板不会存在短路或者开路的缺陷，例如基铜短路、细线短路、电镀断路等，这些缺陷都会使得电路板因为质量问题导致后续无法正常使用的情况。目前常用的检测方法是采用夹持固定装置对电路板进行固定，然后采用显微镜结合测试仪器对电路板进行检测。随着信息化时代的到来，为了满足不同场合的电子产品使用要求，半导体元器件正朝着形状多样化的趋势发展。例如空心柱状器件，在对空心柱状器件进行测试前，需要先将空心柱状器件放置在初始位置，然后再对其进行固定，以保证首测点位置不变，而现有的夹持固定装置在夹持过程中，会导致空心柱状器件的位置发生变化，从而导致首测点位置发生变化，进而导致了空心柱状器件无法被测试。
技术实现思路
本专利技术的第一目的在于提供一种固定装置，以缓解现有技术中存在的在夹持过程...
【技术保护点】
1.一种固定装置，其特征在于，所述固定装置用于固定空心柱状器件，所述固定装置包括卡盘和放置板，所述卡盘的活动卡爪的数量为多个；所述放置板与所述卡盘固定连接，所述放置板用于放置空心柱状器件，所述放置板设置有多个沿所述卡盘的径向延伸的导向孔，所述导向孔的位置与所述活动卡爪的位置一一对应，所述活动卡爪能够在所述导向孔中往复运动，且所述活动卡爪能够与所述空心柱状器件的内表面抵接。/n
【技术特征摘要】
1.一种固定装置，其特征在于，所述固定装置用于固定空心柱状器件，所述固定装置包括卡盘和放置板，所述卡盘的活动卡爪的数量为多个；所述放置板与所述卡盘固定连接，所述放置板用于放置空心柱状器件，所述放置板设置有多个沿所述卡盘的径向延伸的导向孔，所述导向孔的位置与所述活动卡爪的位置一一对应，所述活动卡爪能够在所述导向孔中往复运动，且所述活动卡爪能够与所述空心柱状器件的内表面抵接。
2.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述活动卡爪上设置有外撑部，所述外撑部与所述活动卡爪可拆卸连接，所述外撑部能够在所述导向孔中往复运动，且所述外撑部能够与所述空心柱状器件的内表面抵接。
3.根据权利要求2所述的固定装置，其特征在于，所述外撑部包括连接部和外撑爪，所述连接部的下表面与所述活动卡爪固定连接，所述连接部的上表面与所述外撑爪固定连接；所述外撑爪能够在所述导向孔中往复运动，且所述外撑爪能够与所述空心柱状器件的内表面抵接。
4.根据权利要求3所述的固定装置，其特征在于，所述外撑爪呈阶梯状，且所述外撑爪具有横向台阶面和纵向台阶面，所述纵向台阶面能够与所述空心柱状器件的内表面抵接；所述横向台阶面能够位于所述放置板的下方。
5.根据权利要求3所述的固定装置，其特征在于，所述连接部包括第一连...
【专利技术属性】
技术研发人员：党景涛，左宁，甄万财，高慧莹，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11
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