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本发明涉及半导体器件检测设备技术领域，尤其是涉及一种固定装置及使用该固定装置的空心柱状器件测试设备。固定装置用于固定空心柱状器件，固定装置包括卡盘和放置板，卡盘的活动卡爪的数量为多个；放置板与卡盘固定连接，放置板用于放置空心柱状器件，放置板...该专利属于北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)授权不得商用。