【技术实现步骤摘要】
一种喷砂保护治具
本技术涉及清洗喷砂保护工具
，尤其涉及一种喷砂保护治具。
技术介绍
半导体设备中有一种氮化钽的物理沉积机台，机台中的部件下部防护罩(LOWERSHILED)加工过程中，根据不同的需求，对部件表面的粗糙度要求不同，根据粗糙度要求，需要对部件表面进行喷砂处理，使其达到粗糙度要求。部件LOWERSHILED因厚度较薄，且上部有一个开口，导致在清洗喷砂过程中极易变形，因此，在清洗喷砂过程中，部件需采用喷砂保护治具固定在部件上部开口位置，防止变形。然而，现阶段使用的喷砂保护治具结构复杂，拆装耗费工时，直接影响着加工效率。
技术实现思路
本技术旨在解决现有技术的不足，而提供一种喷砂保护治具。本技术为实现上述目的，采用以下技术方案：一种喷砂保护治具，包括治具主体，其特征在于，所述治具主体呈环形结构设置，所述治具主体的内壁圆固接有内保护挡圈，所述治具主体的外壁固接有外保护挡圈，所述外保护挡圈与所述内保护挡圈同侧设置，所述治具主体上圆周分布有若干固定孔，所述固定孔为通孔结构。作为优选，所述治具主体、所述内保护挡圈和所述外保护挡圈呈一体结构设置。作为优选，所述治具主体为SUS304不锈钢治具。作为优选，所述固定孔的个数为8。本技术的有益效果是：本技术结构简单，设计合理，通过设置安有内保护挡圈和外保护挡圈的治具主体，喷砂前，使用内六角螺丝将本技术固定在部件上部，解决了拆装耗费工时的问题，提高了加工效率，保证了部件在清洗喷砂过程中不会发生形变，在清洗...
【技术保护点】
1.一种喷砂保护治具，包括治具主体(1)，其特征在于，所述治具主体(1)呈环形结构设置，所述治具主体(1)的内壁圆固接有内保护挡圈(2)，所述治具主体(1)的外壁固接有外保护挡圈(3)，所述外保护挡圈(3)与所述内保护挡圈(2)同侧设置，所述治具主体(1)上圆周分布有若干固定孔(4)，所述固定孔(4)为通孔结构。/n
【技术特征摘要】
1.一种喷砂保护治具，包括治具主体(1)，其特征在于，所述治具主体(1)呈环形结构设置，所述治具主体(1)的内壁圆固接有内保护挡圈(2)，所述治具主体(1)的外壁固接有外保护挡圈(3)，所述外保护挡圈(3)与所述内保护挡圈(2)同侧设置，所述治具主体(1)上圆周分布有若干固定孔(4)，所述固定孔(4)为通孔结构。
2.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：穆帅帅，张代龙，
申请(专利权)人：富乐德科技发展天津有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12
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