双级纯化器制造技术

本实用新型专利技术公开了双级纯化器，包括纯化器主体、过滤器、临时存储罐、吸附树脂、活性炭颗粒、干燥剂颗粒和安置筒，纯化器主体的外壁上安装有过滤器，过滤器通过第一进气管道与纯化器主体相互连通，过滤器的内部安置有吸附树脂，吸附树脂的下方安置有活性炭颗粒，活性炭颗粒的下方设置有干燥剂颗粒，纯化器主体的右侧安装有临时存储罐。本实用新型专利技术通过设置的纯化器主体、过滤器、临时存储罐、吸附树脂、活性炭颗粒、干燥剂颗粒和安置筒，解决了手需要定期的拆开清理固体或者粉尘残留物，影响设备的工作效率，并且在更换纯化后气体存储容器后需要临时的停止纯化器的运行，更换结束后在启动纯化器，操作起来繁琐复杂的问题。

Two stage purifier

【技术实现步骤摘要】
双级纯化器
本技术涉及气体纯化加工设备
，具体为双级纯化器。
技术介绍
气体纯化器是去除气体中杂质的一种装置，在工业生产及科研活动中应用广泛，例如在半导体制造工业中的等离子体刻蚀、发光二极管制造工业中外延片金属有机化学气相沉积工艺等，都需要采用气体纯化器用以提供、确保高纯度气体，且对于纯度的要求越来越高。当前大部分相关工艺要求气体中杂质含量不超过1ppm，在集成电路的生产工艺中要求纯度达到7N～8N，个别要求杂质含量低于1ppb。高纯度的气体纯化器通常采用活性金属为化学吸附剂，当原料气通过活性金属纯化床时，气体中杂质，如惰性气体中的O2、H2O、CO、CO2、CH4等气体与活性金属发生化学吸附反应，从而得到99.9999％以上的超高纯气体。但是，目前技术具有以下不足：在气体中掺杂的固体颗粒物以及粉尘等固体杂质被清理留在纯化器的内部，需要定期的拆开清理，影响设备的工作效率，并且在更换纯化后气体存储容器后需要临时的停止纯化器的运行，更换结束后在启动纯化器，操作起来繁琐复杂。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了双级纯化器，解决了手需要定期的拆开清理固体或者粉尘残留物，影响设备的工作效率，并且在更换纯化后气体存储容器后需要临时的停止纯化器的运行，更换结束后在启动纯化器，操作起来繁琐复杂的问题。(二)技术方案为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：双级纯化器，包括纯化器主体、过滤器、临时存储罐、吸附树脂、活性炭颗粒、干燥剂颗粒和安置筒，所述纯化器主体的外壁上安装有过滤器，所述过滤器通过第一进气管道与纯化器主体相互连通，所述过滤器的内部安置有吸附树脂，所述吸附树脂的下方安置有活性炭颗粒，所述活性炭颗粒的下方设置有干燥剂颗粒，所述吸附树脂、活性炭颗粒和干燥剂颗粒均装填在安置筒中，所述安置筒通过橡胶固定圈与过滤器的内壁固定连接，所述纯化器主体的右侧安装有临时存储罐。优选的，所述纯化器主体的下部固定连接在基座支架上，所述纯化器主体的外壁上固定连接有压力显示表，所述纯化器主体通过固定架与过滤器固定连接，且固定架通过螺栓与纯化器主体的外壁固定连接。优选的，所述吸附树脂、活性炭颗粒和干燥剂颗粒从上到下依次设置在过滤器的内部，所述安置筒的上下两端均采用网罩封口，所述安置筒的上下两端均采用橡胶固定圈与过滤器的内壁固定连接，且橡胶固定圈的尺寸略大于安置筒与过滤器内壁之间的间隙，所述过滤器上安装有输气管道，所述输气管道上串联有第一电磁阀。优选的，所述临时存储罐的下部与第一固定板的上部固定连接，所述第一固定板与纯化器主体的外壁固定连接，所述临时存储罐上部的进气口上固定连接有第二进气管道，且第二进气管道的上端与第一出气管道相互连通，所述临时存储罐侧壁上设置的出气口上固定连接有第二出气管道，且第二出气管道与第一出气管道相互连通，所述第二进气管道和第二出气管道上均串联有第三电磁阀，所述第一出气管道固定连接在纯化器主体的出气口上，所述第一出气管道上串联有第二电磁阀。优选的，所述纯化器主体的上部固定连接有废气输送管道，所述废气输送管道的另一端连接在废气储存罐，所述废气储存罐固定安置在第二固定板上，且第二固定板与纯化器主体的外壁固定连接，所述废气储存罐上固定连接有废气排放管道。(三)有益效果本技术提供了双级纯化器，具备以下有益效果：1、本技术，通过设置的过滤器，使用时需要纯化的气体直接从输气管道输送到过滤器中，气体首先经过干燥剂颗粒干燥除掉气体中的水分，再经过活性炭颗粒过滤掉气体中的固体颗粒物以及粉尘，最后在经过吸附树脂吸附清理掉气体中含有的金属离子以及有机物，再从第一进气管道进入到纯化器主体中，纯化器主体运行对进入的气体进行纯化处理，采用外置的过滤器来过滤掉气体中的固体杂质以及粉尘，有效的避免固体杂质以及粉尘积攒在纯化器的内部，需要拆开清理，并且外置的过滤器清理以及拆装更换简单便捷，结构简单实用性强，解决了手需要定期的拆开清理固体或者粉尘残留物，影响设备的工作效率的问题。2、本技术，通过设置的临时存储罐，纯化后的气体从第一出气管道输送到外界的储存容器中，在更换外界储存容器时，直接关闭第一出气管道上的第二电磁阀以及第二出气管道上的第三电磁阀，并打开第二进气管道上的第三电磁阀，纯化后的气体储存在临时存储罐，更换外界储存容器结束后，打开第二电磁阀、关闭第三电磁阀继续输送纯化后的气体即可，利用设置的临时存储罐在更换外界存储容器时临时储存纯化气体，避免繁琐的启动或者关闭纯化器，提升了纯化器的效率，且结构简单，切换操作简单便捷，解决了在更换纯化后气体存储容器后需要临时的停止纯化器的运行，更换结束后在启动纯化器，操作起来繁琐复杂的问题。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术图1的过滤器的内部结构示意图；图3为本技术图1中临时存储罐与第一出气管道的连接示意图。图中附图标记为：1、纯化器主体；2、基座支架；3、压力显示表；4、过滤器；5、固定架；6、第一进气管道；7、输气管道；8、第一电磁阀；9、临时存储罐；10、第一固定板；12、第一出气管道；13、第二电磁阀；14、废气储存罐；15、第二固定板；16、废气输送管道；17、废气排放管道；18、吸附树脂；19、活性炭颗粒；20、干燥剂颗粒；21、安置筒；22、橡胶固定圈；23、第二进气管道；24、第二出气管道；25、第三电磁阀。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3所示，本技术提供的一种实施例；双级纯化器，包括纯化器主体1、过滤器4、临时存储罐9、吸附树脂18、活性炭颗粒19、干燥剂颗粒20和安置筒21，纯化器主体1的外壁上安装有过滤器4，纯化器主体1的下部固定连接在基座支架2上，纯化器主体1的外壁上固定连接有压力显示表3，纯化器主体1通过固定架5与过滤器4固定连接，且固定架5通过螺栓与纯化器主体1的外壁固定连接，过滤器4通过第一进气管道6与纯化器主体1相互连通，过滤器4的内部安置有吸附树脂18，吸附树脂18的下方安置有活性炭颗粒19，活性炭颗粒19的下方设置有干燥剂颗粒20，吸附树脂18、活性炭颗粒19和干燥剂颗粒20均装填在安置筒21中，安置筒21通过橡胶固定圈22与过滤器4的内壁固定连接，吸附树脂18、活性炭颗粒19和干燥剂颗粒20从上到下依次设置在过滤器4的内部，安置筒21的上下两端均采用网罩封口，安置筒21的上下两端均采用橡胶固定圈22与过滤器4的内壁固定连接，且橡胶固定圈22的尺寸略大于安置筒21与过滤器4内壁之间的间隙，过滤器4上安装有输气管道7，输气管道7上串联有第一电磁阀8，纯化器主体1的右侧安装有临本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.双级纯化器，包括纯化器主体(1)、过滤器(4)、临时存储罐(9)、吸附树脂(18)、活性炭颗粒(19)、干燥剂颗粒(20)和安置筒(21)，其特征在于：所述纯化器主体(1)的外壁上安装有过滤器(4)，所述过滤器(4)通过第一进气管道(6)与纯化器主体(1)相互连通，所述过滤器(4)的内部安置有吸附树脂(18)，所述吸附树脂(18)的下方安置有活性炭颗粒(19)，所述活性炭颗粒(19)的下方设置有干燥剂颗粒(20)，所述吸附树脂(18)、活性炭颗粒(19)和干燥剂颗粒(20)均装填在安置筒(21)中，所述安置筒(21)通过橡胶固定圈(22)与过滤器(4)的内壁固定连接，所述纯化器主体(1)的右侧安装有临时存储罐(9)。/n

【技术特征摘要】
1.双级纯化器，包括纯化器主体(1)、过滤器(4)、临时存储罐(9)、吸附树脂(18)、活性炭颗粒(19)、干燥剂颗粒(20)和安置筒(21)，其特征在于：所述纯化器主体(1)的外壁上安装有过滤器(4)，所述过滤器(4)通过第一进气管道(6)与纯化器主体(1)相互连通，所述过滤器(4)的内部安置有吸附树脂(18)，所述吸附树脂(18)的下方安置有活性炭颗粒(19)，所述活性炭颗粒(19)的下方设置有干燥剂颗粒(20)，所述吸附树脂(18)、活性炭颗粒(19)和干燥剂颗粒(20)均装填在安置筒(21)中，所述安置筒(21)通过橡胶固定圈(22)与过滤器(4)的内壁固定连接，所述纯化器主体(1)的右侧安装有临时存储罐(9)。


2.根据权利要求1所述的双级纯化器，其特征在于：所述纯化器主体(1)的下部固定连接在基座支架(2)上，所述纯化器主体(1)的外壁上固定连接有压力显示表(3)，所述纯化器主体(1)通过固定架(5)与过滤器(4)固定连接，且固定架(5)通过螺栓与纯化器主体(1)的外壁固定连接。


3.根据权利要求1所述的双级纯化器，其特征在于：所述吸附树脂(18)、活性炭颗粒(19)和干燥剂颗粒(20)从上到下依次设置在过滤器(4)的内部，所述安置筒(21)的上下两端均采用网罩封口，所述安置筒(21)的上下两端均采用橡胶固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎文宇，
申请(专利权)人：北京市华宇博泰科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11