一种压电微振动台制造技术

本实用新型专利技术提供一种采用无铅压电技术的微振动台，包括用于产生振动激励的压电叠堆元件，用于将压电叠堆元件伸缩振动转变为振动平台上下振动的传振结构，以及用于承载待测物体的振动平台。本实用新型专利技术提供的压电微振动台使用由铌酸钾钠基无铅压电陶瓷制成的压电叠堆元件，相较于现有含铅材料，具有绿色无毒、环保无污染的特点，能够有效减少含铅元件在使用和废弃过程中带来的健康和环境问题。同时，所述压电微振动台工艺简单，适应性强，激振力可通过改变驱动电压调节，能够较好地满足微振动测试等方面的需求。

A piezoelectric micro vibration table

【技术实现步骤摘要】
一种压电微振动台
本技术属于压电技术及振动控制领域，具体涉及一种采用无铅压电技术的微振动台。
技术介绍
随着高新技术与材料科学的不断发展，越来越多的科学研究在微观领域展开，这也促使微型化设备不断发展，如微机械、微执行器、微传感器等，而与此同时，对其进行有效振动测试的重要性也逐步凸显。然而，由于微型设备尺寸往往很小，多在毫米、微米甚至纳米量级，采用传统振动台对微小物体进行振动测试显得捉襟见肘。例如，MEMS微构件动态测试时最基本的环节是要对其激振，由于其尺寸小，谐振频率高，传统激励技术无法直接应用在MEMS动态测试中。因此，亟需开发一种工艺简单、适应性强的能对微米级至纳米级微小物体施加可控激振力的微振动台。
技术实现思路
针对上述需求，本技术提供一种采用无铅压电技术的微振动台。一种微振动台，具体包括：压电叠堆元件，用于产生振动激励，驱动振动台工作。所述压电叠堆元件为多层结构，其内部由压电陶瓷层及电极层交叉叠加构成，其驱动电压相对于单层陶瓷而言更低，且能产生更大幅度的振动。进一步地，所述压电叠堆元件包含3本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种采用无铅压电技术的微振动台，其特征在于，包括压电叠堆元件、传振结构以及振动平台；所述传振结构为倒“Y”型三臂结构，包含朝下的第一条臂、第二条臂，以及朝上的第三条臂；第一、第二条臂之间设置压电叠堆元件，而第三条臂则与振动平台底部相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种采用无铅压电技术的微振动台，其特征在于，包括压电叠堆元件、传振结构以及振动平台；所述传振结构为倒“Y”型三臂结构，包含朝下的第一条臂、第二条臂，以及朝上的第三条臂；第一、第二条臂之间设置压电叠堆元件，而第三条臂则与振动平台底部相连。


2.如权利要求1所述的微振动台，其特征在于，所述压电叠堆元件为多层结构，其内部由压电陶瓷层及电极层交叉叠加构成。


3.如权利要求1所述的微振动台，其特征在于，所述压电叠堆元件包含3~300层压电陶瓷层以及压电陶瓷层之间的电极层...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚文，吴超峰，
申请(专利权)人：嘉兴清锋新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33