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一种压电微振动台制造技术
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文档序号:24143719
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本实用新型提供一种采用无铅压电技术的微振动台,包括用于产生振动激励的压电叠堆元件,用于将压电叠堆元件伸缩振动转变为振动平台上下振动的传振结构,以及用于承载待测物体的振动平台。本实用新型提供的压电微振动台使用由铌酸钾钠基无铅压电陶瓷制成的压电...
该专利属于嘉兴清锋新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过嘉兴清锋新材料有限公司授权不得商用。
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