【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】透明导电氧化物和半导体涂层的闪光退火专利
本文提供了对制品的涂层进行闪光退火的方法，所述制品包括透明件(transparency)和光学器件。
技术介绍
透明导电氧化物(TCO)通常用于建筑和汽车透明件的生产中，作为介电层，以及用于电光器件，例如发光二极管(LED)，例如有机LED(OLED)，以及太阳能电池，例如光伏薄膜太阳能电池。LED和OLED是具有发射层的器件，该发射层响应于电流施加而发射电磁辐射，例如可见光。发射层位于两个电极(阳极和阴极)之间。当电流在阳极和阴极之间通过(即通过发射层)时，发射层发射电磁能。OLED被用于许多应用中，例如电视屏幕、计算机监视器、移动电话、个人数字助理(PDA)、手表、照明设备以及各种其它电子器件。美国专利US9,627,652描述了OLED器件。由于TCO在建筑、光学和光电方面的多功能性，因此最期望具有在TCO或半导体层中快速且廉价地产生独特物理(例如电和/或光)属性的方法。日光控制涂层在建筑和汽车透明件领域中是已知的。这些涂层阻挡或过滤选定范围的电磁辐射，例如在太阳红外辐...
【技术保护点】
1.一种制备涂覆基底的方法，该涂覆基底包括含透明导电氧化物或半导体的层，该方法包括：/na.在惰性气氛中在基底的至少一部分上方沉积透明金属氧化物或半导体层，该透明金属氧化物或半导体层在可见光谱中的波长下的吸收系数为至少1000cm
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170804 US 15/669,2251.一种制备涂覆基底的方法，该涂覆基底包括含透明导电氧化物或半导体的层，该方法包括：
a.在惰性气氛中在基底的至少一部分上方沉积透明金属氧化物或半导体层，该透明金属氧化物或半导体层在可见光谱中的波长下的吸收系数为至少1000cm-1；和
b.在15℃至40℃范围内的温度下，以可见光谱内的非相干光的3.5J/cm2至6.0J/cm2的脉冲闪光处理所述透明导电氧化物或半导体层的至少一部分，该非相干光包括：该层的吸收系数为至少1000cm-1的可见光谱内的波长的光。
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述脉冲在所述层中的穿透深度小于产生所述透明导电氧化物或半导体的分裂层的层厚度，其中所述分裂层的每个层具有不同的物理性质。
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述脉冲的范围是4.0J/cm2至5.0J/cm2。
4.根据权利要求1所述的方法，其中所述透明导电氧化物或半导体层包含透明导电氧化物。
5.根据权利要求4所述的方法，其中所述透明导电氧化物是钛、铪、锆、铌、锌、铋、铅、铟、锡的氧化物，以及它们的混合物。
6.根据权利要求4所述的方法，其中所述透明导电氧化物是铟锡氧化物、铟锌氧化物、铝锌氧化物、锌锡氧化物、铟镉氧化物、镉锡氧化物、锡酸钡、钒酸锶或钒酸钙。
7.根据权利要求4所述的方法，其中在2毫托至5毫托的气氛中沉积TCO。
8.根据权利要求4所述的方法，其中在包含3％(体积)以下氧气的气氛中沉积TCO。
9.根据权利要求4所述的方法，其中所述透明导电氧化物是铟锡氧化物。
10.根据权利要求9所述的方法，其中在具有小于2.5％氧气的惰性气氛中，在2毫...
【专利技术属性】
技术研发人员：A·甘卓，P·费舍尔，S·纳拉亚南，
申请(专利权)人：维特罗平板玻璃有限责任公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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