显示装置及其制造方法制造方法及图纸

在边框区域(F)的弯折部(B)处，在构成TFT层的至少一层的无机绝缘膜中形成贯穿该无机绝缘膜而使树脂基板(10)的上表面露出的开口部(A)，边框配线(12ea)设置在从开口部(A)露出的树脂基板(10)上，构成TFT层的至少一层的无机绝缘膜中的与树脂基板(10)的上表面接触的无机绝缘膜由氮氧化硅膜形成。

Display device and manufacturing method

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】显示装置及其制造方法
本专利技术涉及一种显示装置及其制造方法。
技术介绍
近年来，作为代替液晶显示装置的显示装置，使用了有机电致发光(electroluminescence，EL)元件的自发光型的有机EL显示装置已受到关注。在该有机EL显示装置中，已提出了在具有可挠性的树脂基板上形成有机EL元件等的柔性有机EL显示装置。此处，在有机EL显示装置中设置有进行图像显示的矩形状的显示区域，在该显示区域的周围设置有边框区域，且迫切需要缩小边框区域。而且，对于柔性有机EL显示装置，例如若通过弯折端子侧的边框区域来缩小边框区域，则配置于该边框区域的配线有可能会断裂。例如，在专利文献1中公开了如下柔性显示装置，其通过形成弯曲孔，去除与弯曲区域对应的缓冲膜、栅极绝缘膜及层间绝缘膜各自的一部分，从而防止配线断裂。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2014-232300号公报
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题但是，在柔性有机EL显示装置中，因为在树脂基板上设置有底涂膜、栅极绝缘膜及层间绝缘膜等无机绝缘膜，所以为了抑制配置于边框区域的配线的断裂，有时通过干式蚀刻去除边框区域的弯折部的无机绝缘膜，抑制弯折部的无机绝缘膜的破裂。此处，若考虑在边框区域的弯折部的无机绝缘膜已被去除的部分形成的用于形成配线的金属膜的包覆性，则优选尽可能减小无机绝缘膜已被去除的部分的端面相对于树脂基板表面的角度(锥角)。另外，在用作无机绝缘膜的材料中，尽管与氮化硅膜相比，氧化硅膜能够减小锥角，但因为与由光阻中的氧引起的等离子发光重叠，所以导致难以检测出干式蚀刻的结束点。因此，减小无机绝缘膜的端面的锥角、与切实地检测出无机绝缘膜的干式蚀刻的结束点这两者处于折衷选择关系。本专利技术是鉴于所述方面而成的专利技术，其目的在于切实地检测出无机绝缘膜的干式蚀刻的结束点，并且减小无机绝缘膜的端面的锥角。解决问题的方案为了实现所述目的，本专利技术的显示装置包括：树脂基板；发光元件，其构成隔着TFT层而设置在所述树脂基板上的显示区域；边框区域，其设置在所述显示区域的周围；端子部，其设置在所述边框区域的端部；弯折部，其设置在所述显示区域及端子部之间；边框配线，其设置于所述边框区域，电连接于所述发光元件并延伸至所述端子部；以及至少一层的无机绝缘膜，设置于所述边框区域，且构成层叠于所述树脂基板上的所述TFT层，所述显示装置的特征在于：在所述弯折部处，在所述至少一层的无机绝缘膜中形成贯穿所述无机绝缘膜而使所述树脂基板的上表面露出的开口部，所述边框配线设置在从所述开口部露出的所述树脂基板上，所述至少一层的无机绝缘膜中的与所述树脂基板的上表面接触的无机绝缘膜由氮氧化硅膜形成。有益效果根据本专利技术，构成TFT层的至少一层的无机绝缘膜中的与树脂基板的上表面接触的无机绝缘膜由氮氧化硅膜形成，因此，能够切实地检测出无机绝缘膜的干式蚀刻的结束点，并且减小无机绝缘膜的端面的锥角。附图说明图1是表示本专利技术第一实施方式的有机EL显示装置的概略结构的平面图。图2是表示沿着图1中的II-II的有机EL显示装置的显示区域的概略结构的剖视图。图3是表示构成本专利技术第一实施方式的有机EL显示装置的TFT层的等效电路图。图4是表示构成本专利技术第一实施方式的有机EL显示装置的有机EL层的剖视图。图5是表示本专利技术第一实施方式的有机EL显示装置的边框区域的弯折部的平面图。图6是表示沿着图5中的VI-VI线的有机EL显示装置的边框区域的概略结构的剖视图。图7是将构成本专利技术第一实施方式的有机EL显示装置的无机层叠膜的端部放大的剖视图。图8是构成本专利技术第一实施方式的有机EL显示装置的无机层叠膜的端部的SEM照片。图9是表示在构成本专利技术第一实施方式的有机EL显示装置的无机绝缘膜的端部形成的光阻的剖面形状的模式图。图10是表示本专利技术第一实施方式的有机EL显示装置中的无机绝缘膜的端部的锥角与光阻的膜厚之间的关系的图表。图11是表示本专利技术第二实施方式的有机EL显示装置的边框区域的概略结构的剖视图，且是相当于图6的图。图12是将构成本专利技术第二实施方式的有机EL显示装置的无机绝缘膜的端部放大的剖视图，且是相当于图7的图。图13是表示本专利技术第三实施方式的有机EL显示装置的边框区域的概略结构的剖视图，且是相当于图6的图。图14是表示构成本专利技术的其他实施方式的有机EL显示装置的边框配线的平面图。具体实施方式以下，基于附图来详细地说明本专利技术的实施方式。再者，本专利技术并不限定于以下的各实施方式。《第一实施方式》图1～图10表示本专利技术的显示装置的第一实施方式。再者，在以下的各实施方式中，例示包括有机EL元件的有机EL显示装置作为包括发光元件的显示装置。此处，图1是表示本实施方式的有机EL显示装置30a的概略结构的平面图。另外，图2是表示沿着图1中的II-II的有机EL显示装置30a的显示区域D的概略结构的剖视图。另外，图3是表示构成有机EL显示装置30a的TFT层29的等效电路图。另外，图4是表示构成有机EL显示装置30a的有机EL层16的剖视图。另外，图5是表示有机EL显示装置30a的边框区域F的弯折部B的平面图。另外，图6是表示沿着图5中的VI-VI线的有机EL显示装置30a的边框区域F的概略结构的剖视图。另外，图7是将构成有机EL显示装置30a的无机层叠膜L的端部放大的图6的详细剖视图。另外，图8是利用扫描型电子显微镜(SEM：ScanningElectronMicroscope)对构成有机EL显示装置30a的无机层叠膜L的端部进行拍摄所得的SEM照片。如图1所示，有机EL显示装置30a包括进行图像显示的矩形状的显示区域D、与界定在显示区域D的周围的边框区域F(图中的阴影部分)。此处，如图2所示，在有机EL显示装置30a的显示区域D中设置了有机EL元件19，并且呈矩阵状地排列有多个像素。而且，在显示区域D的各像素中，例如彼此相邻地排列有用以进行红色的灰度显示的子像素、用以进行绿色的灰度显示的子像素及用以进行蓝色的灰度显示的子像素。另外，如图1所示，在边框区域F的图中的右端部设置有端子部T。另外，如图1所示，在边框区域F中的显示区域D及端子部T之间，以图中的纵方向为弯折的轴而180°(呈U字状)弯折的弯折部B沿着显示区域D的一条边(图中的右边)设置。如图2所示，有机EL显示装置30a在显示区域D中，包括作为树脂基板而设置的树脂基板层10、设置于树脂基板层10的表面的TFT层29、作为发光元件而设置于TFT层29的表面的有机EL元件19、设置于有机EL元件19的表面的表面侧保护层25a、设置于树脂基板层10的背面的背面侧保护层25b。树脂基板层10例如由厚度为10μm～20μm左右的聚酰亚胺树脂等构成。如图2所示，TFT层29包括设置在树脂基板层10上的底涂膜11a、设置在底涂膜11a上的多个本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示装置，包括/n树脂基板；/n发光元件，其构成隔着TFT层而设置在所述树脂基板上的显示区域；/n边框区域，其设置在所述显示区域的周围；/n端子部，其设置在所述边框区域的端部；/n弯折部，其设置在所述显示区域及端子部之间；/n边框配线，其设置于所述边框区域，隔着TFT层而电连接于所述发光元件并延伸至所述端子部；以及/n至少一层的无机绝缘膜，其设置于所述边框区域，且构成层叠于所述树脂基板上的所述TFT层，/n所述显示装置的特征在于：/n在所述弯折部处，在所述至少一层的无机绝缘膜中形成贯穿所述无机绝缘膜而使所述树脂基板的上表面露出的开口部，/n所述边框配线以横穿所述开口部而延伸的方式，设置在从所述开口部露出的所述树脂基板上及形成有所述开口部的无机绝缘膜的端部，/n所述至少一层的无机绝缘膜中的与所述树脂基板的上表面接触的无机绝缘膜由氮氧化硅膜形成。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种显示装置，包括
树脂基板；
发光元件，其构成隔着TFT层而设置在所述树脂基板上的显示区域；
边框区域，其设置在所述显示区域的周围；
端子部，其设置在所述边框区域的端部；
弯折部，其设置在所述显示区域及端子部之间；
边框配线，其设置于所述边框区域，隔着TFT层而电连接于所述发光元件并延伸至所述端子部；以及
至少一层的无机绝缘膜，其设置于所述边框区域，且构成层叠于所述树脂基板上的所述TFT层，
所述显示装置的特征在于：
在所述弯折部处，在所述至少一层的无机绝缘膜中形成贯穿所述无机绝缘膜而使所述树脂基板的上表面露出的开口部，
所述边框配线以横穿所述开口部而延伸的方式，设置在从所述开口部露出的所述树脂基板上及形成有所述开口部的无机绝缘膜的端部，
所述至少一层的无机绝缘膜中的与所述树脂基板的上表面接触的无机绝缘膜由氮氧化硅膜形成。


2.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于：
所述至少一层的无机绝缘膜中的与所述树脂基板的上表面接触的无机绝缘膜是设置在所述树脂基板上的底涂膜的最下层。


3.根据权利要求2所述的显示装置，其特征在于：
所述底涂膜包括有依次设置在所述树脂基板上的由氮氧化硅膜构成的第一层、由氮化硅膜构成的第二层及由氧化硅膜构成的第三层。


4.根据权利要求3所述的显示装置，其特征在于：
在所述开口部中，所述树脂基板的上表面与所述第一层的端面所成的锥角大于所述树脂基板的上表面与所述第三层的端面所成的锥角，且小于所述树脂基板的上表面与所述第二层的端面所成的锥角。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的显示装置，其特征在于：
在所述开口部中，所述树脂基板的上表面与所述至少一层的无机绝缘膜中的与所述树脂基板的上表面接触的无机绝缘膜的端面所成的锥角为45°以下。


6.根据权利要求1至5中任一项所述的显示装置，其特征在于：
所述边框配线被树脂膜覆盖。


7.根据权利要求6所述的显示装置，其特征在于：
所述TFT层具有平坦化膜，
所述树脂膜由同一材料形成于与所述平坦化膜相同的层。


8.根据权利要求6所述的显示装置，其特征在于：
所述发...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐藤贵翁，山中雅贵，神崎庸辅，三轮昌彦，金子诚二，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP