一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置，包括光纤激光器、依次远离所述光纤激光器并设置于所述光纤激光器的出射光路上的反射镜、聚焦镜、狭缝调节装置和显微镜，所述光纤激光器出射的光束经所述反射镜反射至所述聚焦镜聚焦后通过所述狭缝调节装置调节狭缝，通过所述显微镜缩小波长。光纤激光器发射的光束经过聚焦镜和显微镜二次聚焦，使得光束足够精细；本实用新型专利技术的一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置，通过二次聚焦在激光器能量不充足的时候，可以提高单位阈值，从而有足够能量进行超精细加工；聚焦镜聚焦整型后通过狭缝调节装置根据需要调节狭缝结构，提高了狭缝调节的精度。

【技术实现步骤摘要】
一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置
本技术涉及光学精密加工设备
，尤其涉及一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置。
技术介绍
在光学精密加工设备
，光纤激光器被应用广泛，但是现有的激光加工装置为一次聚焦，聚焦后的精密度无法满足越来越高的要求；光纤激光器需要发射的激光能量要求大，增加了生产成本。狭缝调节的精度低，调节后的狭缝结构形状与理想结构形状差距大，导致加工精度低。
技术实现思路
鉴于上述状况，有必要提供一种精度高的用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置。为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置，包括光纤激光器、依次远离所述光纤激光器并设置于所述光纤激光器的出射光路上的反射镜、聚焦镜、狭缝调节装置和显微镜，所述光纤激光器出射的光束经所述反射镜反射至所述聚焦镜聚焦后通过所述狭缝调节装置调节狭缝，通过所述显微镜缩小波长。进一步的，所述显微镜的目镜和物镜之间连接有CCD相机，所述CCD相机的镜头与所述显微镜的物镜之间设有LED灯源。进一步的，所述聚焦镜与所述反射镜之间设有合束镜，所述合束镜侧方设有照明定位狭缝的激光光源，所述合束镜将所述光纤激光器发射的光束和所述激光光源发射的光束合束传递给所述聚焦镜。进一步的，所述CCD相机固定在所述显微镜的一侧，所述CCD相机通过反射转换镜组照射至所述显微镜的物镜。进一步的，所述LED灯源设置在所述显微镜相对于所述CCD相机的另一侧，所述LED灯源通过反光镜斜照射至所述CCD相机的镜头。进一步的，所述反射镜将所述光纤激光器的光束九十度转换传递。进一步的，所述光纤激光器发射的光束为4mm，经所述聚焦镜和所述狭缝调节装置调整为200μm-4mm，通过所述显微镜后缩小为1μm-100μm。本技术的有益效果在于：光纤激光器发射的光束经过聚焦镜和显微镜二次聚焦，使得光束足够精细；通过二次聚焦在激光器能量不充足的时候，可以提高单位阈值，从而有足够能量进行超精细加工；聚焦镜聚焦整型后通过狭缝调节装置根据需要调节狭缝结构，提高了狭缝调节的精度。附图说明图1是本技术实施例一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置的结构示意图。标号说明：100、光纤激光器；200、反射镜；300、聚焦镜；400、狭缝调节装置；500、显微镜；510、目镜；520、物镜；600、CCD相机；610、反射转换镜组；700、LED灯源；710、反光镜；800、合束镜；900、激光光源。,具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。请参见图1，一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置，包括光纤激光器100、依次远离光纤激光器100并设置于光纤激光器100的出射光路上的反射镜200、聚焦镜300、狭缝调节装置400和显微镜500，光纤激光器出射的光束经反射镜200反射至聚焦镜300聚焦后通过狭缝调节装置400调节狭缝，通过显微镜500缩小波长。光纤激光器100发射的光束经过聚焦镜300和显微镜500二次聚焦，使得光束足够精细；通过二次聚焦在激光器能量不充足的时候，可以提高单位阈值，从而有足够能量进行超精细加工；聚焦镜300聚焦整型后通过狭缝调节装置400根据需要调节狭缝结构，提高了狭缝调节的精度。优选的，光纤激光器100具有扩束镜镜头。一般的，光纤激光器100本身会配有扩束镜镜头，通过扩束镜镜头进行扩束整型，将光束的波长放大。请参见图1，显微镜500的目镜510和物镜520之间连接有CCD相机600，CCD相机600的镜头与显微镜500的物镜520之间设有LED灯源700。LED灯源700为CCD相机600提供光源采集加工产品的情况，CCD相机600设置在目镜510和物镜520之间，加工产品的经过物镜520放大后被CCD相机600采集，方便观察。请参见图1，CCD相机600固定在显微镜500的一侧，CCD相机600通过反射转换镜组610照射至显微镜500的物镜520。节省空间，方便采集。请参见图1，LED灯源700设置在显微镜500相对于CCD相机600的另一侧，LED灯源700通过反光镜710斜照射至CCD相机600的镜头。提高LED灯源700的光照强度和效果。请参见图1，聚焦镜300与反射镜200之间设有合束镜800，合束镜800侧方设有照明定位狭缝的激光光源900，合束镜800将光纤激光器100发射的光束和激光光源900发射的光束合束传递给聚焦镜300。通过设置合束镜800和激光光源900方面进行狭缝调节，可以理解的该激光光源900为可见光，通过合束镜800和激光光源900可以方便的调节聚焦点位置和狭缝。一般的，合束镜800分别与光纤激光器100和激光光源900的出射光束呈四十五度角。优选的，反射镜200将光纤激光器100的光束九十度转换传递。方便将水平设置的光纤激光器100发射的光束转换为铅垂光束，方便进行加工。可以理解的，反射镜200与光纤激光器100的出射光束呈四十五度角。优选的，光纤激光器100发射的光束为4mm，经聚焦镜300和狭缝调节装置400调整为200μm-4mm，通过显微镜500后缩小为1μm-100μm。通过两次聚焦进行聚焦整型，提高了可控性和精度。综上所述，本技术提供的一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置，光纤激光器发射的光束经过聚焦镜和显微镜二次聚焦，使得光束足够精细；通过二次聚焦在激光器能量不充足的时候，可以提高单位阈值，从而有足够能量进行超精细加工；聚焦镜聚焦整型后通过狭缝调节装置根据需要调节狭缝结构，提高了狭缝调节的精度。以上所述，仅是本技术的较佳实施例而已，并非对本技术作任何形式上的限制，虽然本技术已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本技术，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本技术技术方案范围内，当可利用上述揭示的
技术实现思路
做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本技术技术方案内容，依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本技术技术方案的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置，其特征在于，包括光纤激光器、依次远离所述光纤激光器并设置于所述光纤激光器的出射光路上的反射镜、聚焦镜、狭缝调节装置和显微镜，所述光纤激光器出射的光束经所述反射镜反射至所述聚焦镜聚焦后通过所述狭缝调节装置调节狭缝，通过所述显微镜缩小波长。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置，其特征在于，包括光纤激光器、依次远离所述光纤激光器并设置于所述光纤激光器的出射光路上的反射镜、聚焦镜、狭缝调节装置和显微镜，所述光纤激光器出射的光束经所述反射镜反射至所述聚焦镜聚焦后通过所述狭缝调节装置调节狭缝，通过所述显微镜缩小波长。


2.根据权利要求1所述的一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置，其特征在于，所述显微镜的目镜和物镜之间连接有CCD相机，所述CCD相机的镜头与所述显微镜的物镜之间设有LED灯源。


3.根据权利要求2所述的一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置，其特征在于，所述CCD相机固定在所述显微镜的一侧，所述CCD相机通过反射转换镜组照射至所述显微镜的物镜。


4.根据权利要求3所述的一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡春迎，郭云华，
申请(专利权)人：深圳晶尹阳光电有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44