【技术实现步骤摘要】
一种理疗仪生产用晶圆清理装置
本技术涉及晶圆清洗
,尤其是一种理疗仪生产用晶圆清理装置。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆生产加工需要使用到清洗装置,但现有的清洗装置清洗不干净,从而造成晶圆清洗效果差的现象,不方便使用者对晶圆的后续加工,降低了晶圆的实用性,在晶圆的加工过程中,通常需要对晶圆进行多次的清洗,且晶圆在清洗时的特点一般为少批量、多尺寸,而传统的清洗花篮多为单一尺寸,为了提高清洗效果需要重新制作不同尺寸的专用的清洗花篮,大大的增加了工装成本。
技术实现思路
为了克服现有技术中所存在的上述缺陷,本技术提供了一种理疗仪生产用晶圆清理装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种理疗仪生产用晶圆清理装置,包括传动箱和花篮,所述传动箱位于花篮上方,所述传动箱内部顶部设置第一电机,所述第一电机输出端与第一减速箱固定连接,所述第一减速箱连接凸轮,所述凸轮通过转轴与传动箱转动连接,所述凸轮转轴下方设滑轮,所述滑轮与凸轮抵触,所述滑轮与竖直设置的推杆转动连接,所述推杆穿过水平固定杆,所述推杆侧壁上设圆周凸起,所述圆周凸起与水平固定杆之间的推杆上套设弹簧,所述弹簧底端与水平固定杆上表面固定连接,所述弹簧顶端与圆周凸起底面固定连接,所述推杆穿过水平固定杆的末端连接一段水平的滑槽,所述滑槽内设圆形的滑块,所述滑块与连杆右端转动连接,所述连杆左端与曲柄末端转动连接,所述曲柄 ...
【技术保护点】
1.一种理疗仪生产用晶圆清理装置,包括传动箱(1)和花篮(2),其特征在于:所述传动箱(1)位于花篮(2)上方,所述传动箱(1)内部顶部设置第一电机(3),所述第一电机(3)输出端与第一减速箱(4)固定连接,所述第一减速箱(4)连接凸轮(5),所述凸轮(5)通过转轴与传动箱(1)转动连接,所述凸轮(5)转轴下方设滑轮(6),所述滑轮(6)与凸轮(5)抵触,所述滑轮(6)与竖直设置的推杆(7)转动连接,所述推杆(7)穿过水平固定杆(8),所述推杆(7)侧壁上设圆周凸起(9),所述圆周凸起(9)与水平固定杆(8)之间的推杆(7)上套设弹簧(10),所述弹簧(10)底端与水平固定杆(8)上表面固定连接,所述弹簧(10)顶端与圆周凸起(9)底面固定连接,所述推杆(7)穿过水平固定杆(8)的末端连接一段水平的滑槽(11),所述滑槽(11)内设圆形的滑块(12),所述滑块(12)与连杆(13)右端转动连接,所述连杆(13)左端与曲柄(14)末端转动连接,所述曲柄(14)输入端连接第二减速箱(15),所述第二减速箱(15)与第二电机(16)输出端连接,所述滑块(12)下方连接花篮(2),所述花篮(2 ...
【技术特征摘要】
1.一种理疗仪生产用晶圆清理装置,包括传动箱(1)和花篮(2),其特征在于:所述传动箱(1)位于花篮(2)上方,所述传动箱(1)内部顶部设置第一电机(3),所述第一电机(3)输出端与第一减速箱(4)固定连接,所述第一减速箱(4)连接凸轮(5),所述凸轮(5)通过转轴与传动箱(1)转动连接,所述凸轮(5)转轴下方设滑轮(6),所述滑轮(6)与凸轮(5)抵触,所述滑轮(6)与竖直设置的推杆(7)转动连接,所述推杆(7)穿过水平固定杆(8),所述推杆(7)侧壁上设圆周凸起(9),所述圆周凸起(9)与水平固定杆(8)之间的推杆(7)上套设弹簧(10),所述弹簧(10)底端与水平固定杆(8)上表面固定连接,所述弹簧(10)顶端与圆周凸起(9)底面固定连接,所述推杆(7)穿过水平固定杆(8)的末端连接一段水平的滑槽(11),所述滑槽(11)内设圆形的滑块(12),所述滑块(...
【专利技术属性】
技术研发人员:宋吉宝,陈标,王峰,石磊,
申请(专利权)人:青岛和祥电器有限公司,
类型:新型
国别省市:山东;37
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