无尘室制造技术

通过设置在无尘室顶棚部中的ＦＦＵ或压差计等的信息，控制各ＦＦＵ的吹出气流方向、风量。为改善无尘室内的风速分布，而使顶棚室内的压力变均匀，并使ＦＦＵ的转数控制变得容易。为了控制无尘室内的气流方向，在无尘室内的栅格地板下部设置气流调节机构。通过这种结构，无尘室的运转状态可以最佳且省能。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种制造半导体、液晶等电子器件的无尘室，具体而言，是涉及设置在无尘室顶棚部中的扇形过滤器单元(下面称为FFU)的控制运转的FFU控制系统和具有该系统的无尘室。
技术介绍
一般地，无尘室的清洁度通过无尘室内的制造工序被区分为1、10、100、1000级，通过FFU吹出的风速引起的无尘室内气流循环次数或HEPA过滤器、ULPA过滤器等过滤器等级来区分该清洁度。近年来，已知在制造工序中使用不产生硼气的PTFE过滤器或降低了玻璃纤维过滤器产生的硼产生量的低硼过滤器。为了在所述无尘室内得到级1、10的高清洁度，不仅无尘室内气流循环次数，而且无尘室内的气流方向也非常重要。如附图说明图16所示，现有的FFU具有如下结构通过电机4来旋转风扇3，从吸入口7吸入空气，通过在FFU1下部的过滤器2中流过空气，吹出清洁空气9。通过调节清洁空气9的吹出风速、方向来维持无尘室内的清洁度。作为调节FFU向无尘室吹出的风速的手段，如特开平11-218353号公报(现有技术1)中所示，在各FFU过滤器上游端和下游端设置压差传感器，检测过滤器2的静压，根据过滤器的静压、风量特性来计算FFU的吹出风速，通过反相器等电机转数控制手段来控制吹出风速。另外，在特开平9-96431号公报(现有技术2)中公开了如下控制为了防止无尘室内下降流的湍流，在无尘室内的地板部备有风量调节地板，测量通过地板部通风孔的风量，得到规定的风量。专利技术所解决的问题但是，在现有技术1中，虽然在各FFU个体上设置压差传感器来调节FFU的吹出风速，但未考虑通过设置在无尘室顶棚部中的FFU的位置信息或顶棚室内的压力信息来控制无尘室内的气流方向。另外，在现有技术2中，虽然公开了测量无尘室地板部的通风孔的风量来将地板部风量设为一定，但未考虑测量无尘室内的风速来控制无尘室内的风量。因此，在上述任一现有技术中都不足以提高无尘室内的清洁度。本专利技术的目的在于提供一种FFU控制系统，为了提高无尘室内的清洁度，控制设置在无尘室顶棚部内的FFU的吹出气流的方向和风量。本专利技术的另一目的在于提供一种无尘室，该无尘室具有控制系统，为改善无尘室内的风束分布，使顶棚室内的压力均匀，并容易控制FFU的转数。本专利技术的再一目的在于提供一种无尘室，为了控制无尘室内气流的方向，在无尘室内的栅格(grating)地板下部中设置气流调节机构。解决问题的手段为了实现上述目的，本专利技术的FFU控制系统具有配置在无尘室顶棚部中的FFU和控制该FFU的控制装置，其中，通过所述FFU位置信息和配置在所述无尘室顶棚室内压差计的压力信息来控制所述FFU的风扇电机转数。在所述FFU控制系统中，在控制画面中显示所述风扇电机的转数控制后的计算风量。在配置有所述FFU控制系统并在无尘室顶棚部中配置风扇的无尘室中，通过顶棚室内的压差计信息来控制所述无尘室顶棚内的风扇。一种无尘室，备有配置在无尘室顶棚部中的FFU、控制该FFU的控制装置、配置在所述无尘室内的风速计和配置在所述无尘室地板下的风扇，其中，通过所述风速计的信息来控制所述地板下风扇的旋转。一种无尘室，备有配置在无尘室顶棚部中的FFU、控制该FFU的控制装置、设置在该无尘室内的风速计和配置在所述无尘室地板下的气流调节器，其中，通过所述风速计的信息来控制所述地板下气流调节器的开口率。一种无尘室，备有配置在无尘室顶棚部中的FFU、控制该FFU的控制装置、设置在所述无尘室内的风速计和可调节开口率的无尘室的栅格地板，其中，通过所述风速计的信息来控制所述栅格地板的开口率。一种无尘室，备有配置在无尘室顶棚部中的FFU、控制该FFU的控制装置和配置在所述FFU中的压差计，其中，通过设置在所述FFU中的压差计信息来运算该FFU的寿命，并显示在画面中。附图的简要说明图1是表示本专利技术实施例1的FFU结构图。图2是表示本专利技术实施例1的FFU控制系统的控制画面。图3是表示本专利技术实施例1的FFU结构图。图4是本专利技术FFU控制系统的控制框图。图5是表示本专利技术实施例7的系统结构图。图6是表示本专利技术实施例1的FFU风量-静压特性图。图7是表示本专利技术实施例1的反相器控制方式FFU的风量-静压特性图。图8是表示本专利技术实施例2的FFU信息显示画面。图9是表示本专利技术实施例3的FFU结构图。图10是表示本专利技术实施例4的无尘室地板下结构图。图11是表示本专利技术实施例5的无尘室地板下结构图。图12是表示本专利技术实施例6的无尘室栅格地板结构图。图13是表示本专利技术实施例7的FFU结构图和过滤器特性。图14是表示本专利技术实施例8的无尘室布局图。图15是表示本专利技术实施例11的FFU控制说明布局图。图16是现有的FFU结构图。专利技术的详细描述下面用附图来说明本专利技术。(顶棚压差计)图1是备有表示本专利技术实施例1的FFU控制系统的无尘室。图1中，在无尘室顶棚面中敷设格子形的顶棚铝框架17，在顶棚铝框架17上铺设FFU1。FFU1吸收顶棚室19的空气，向无尘室内吹出净化后的空气。净化后的空气变为无尘室内气流18，通过无尘室地面的栅格地板20，经由栅格地板下，从返回区域39返回顶棚室19。从而在无尘室中循环清洁空气，净化无尘室内部。在本专利技术中，在顶棚室19内，在多个部位配置顶棚室内压差计27。下面描述该压差计的配置。图2表示本专利技术FFU控制系统的显示画面。在显示画面中显示无尘室的布局、即FFU或压差计等的设置位置或FFU的信息等。在布局画面36中表示无尘室的布局，在布局画面36的上部显示返回区域39。另外，在布局画面36上用黑点表示顶棚室内压差计27的位置，按列配置。下面描述按列配置的理由。若在FFU控制系统中定义顶棚室内压差计27的位置信息，则不必将该信息显示在画面上。在布局画面36的左上部具有放大功能，可进行放大显示。布局画面上的格子表示顶棚铝框架17，一个格子表示一个FFU1，顶棚铝框架17上的X号表示顶棚铝框架17上未安装FFU1的部位。在FFU信息显示画面37中，显示FFU1装配位置坐标、具有定义的区域名称、具有定义的组名称、FFU管理序号、运转模式、运转速度，每个FFU的信息不同。在FFU1的控制中，FFU1的位置坐标的管理在对应于气流布局上是重要的。在FFU1的控制中，因为多台结合同时动作的情况多，所以将FFU定义为区域、组。可将多台FFU定义为一个组，将多个组定义为一个区域。由此，在半导体、液晶等电子器件的制造中，对各种制造工序的每个场所分区，其中，对每个制造装置分组，可具有控制FFU风速的最佳分布。下面说明本专利技术的FFU。图3表示本专利技术FFU的结构图。在FFU1的主体上部具有吸入口7，主体内的电机4旋转风扇3，吸入空气，在过滤器2中过滤空气，吹出为清洁空气9。本专利技术在电机4的转数控制中设置DCBL电机或反相器，在FFU1上部装载电机控制器5，从外部通过通信分台6来控制控制器5。因此，在本专利技术中，如图1和图2所示，配置顶棚室内压差计27，通过FFU控制系统中取得其信息来控制FFU1。另外，如图1所示，在无尘室的一侧配置返回区域39的情况下，无尘室内气流18在从FFU1吹出后，由于吸入无尘室39，所以无尘室内的气流不能垂直流过，产生所谓的斜流现象。为了避免这种斜流，通常将栅格地板下尺寸取得大，但随着近年来制造装置的大本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种风扇过滤单元控制系统，具有配置在无尘室顶棚部中的风扇过滤单元和控制该风扇过滤单元的控制装置，其特征在于，通过所述风扇过滤单元位置信息和配置在所述无尘室顶棚室内压差计的压力信息来控制所述风扇过滤单元的风扇电机转数。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：横山诚，小野惠一，田村史之，
申请(专利权)人：株式会社日立制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]