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通过设置在无尘室顶棚部中的ＦＦＵ或压差计等的信息，控制各ＦＦＵ的吹出气流方向、风量。为改善无尘室内的风速分布，而使顶棚室内的压力变均匀，并使ＦＦＵ的转数控制变得容易。为了控制无尘室内的气流方向，在无尘室内的栅格地板下部设置气流调节机构。通过...
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