一种深度亚波长和高品质因数的人工等离激元谐振器制造技术

本发明专利技术公开了一种深度亚波长和高品质因数的人工等离激元谐振器，包括第一谐振图形层、第二谐振图形层、位于第一谐振图形层和第二谐振图形层之间的介质基板层；第一谐振图形层包括外侧金属圆圈、位于外侧金属圆圈内圆周等间距的放射状金属条形结构；外侧金属圆圈在相邻两个放射状金属条形结构之间设有开缝；第二谐振图形层为大面积金属地上互补的内侧圆圈、位于内侧圆圈外圆周等间距的放射状条形结构；第一谐振图形层上的放射状金属条形结构与第二谐振图形层上的放射状条形结构周期相同、上下位置相同。该谐振器通过层状谐振图形对电磁场强束缚，打破结构对称性的开缝进一步增强束缚性并降低辐射损耗，实现微带兼容、深度亚波长和高品质因数的人工等离激元谐振器。

A deep subwavelength and high quality factor artificial plasmon resonator

【技术实现步骤摘要】
一种深度亚波长和高品质因数的人工等离激元谐振器
本专利技术属于谐振器、传输线
，具体涉及一种深度亚波长和高品质因数的微波毫米波谐振器。
技术介绍
对于各个频段的电磁谐振器，有两个非常重要但相互制约的参数：品质因数(Q-factor，Q值)和尺寸。品质因数决定了谐振器中的电磁波能量和周围环境相互作用的寿命，以及谐振器带宽等。通常对于传感、滤波等应用，我们希望品质因数越高越好。品质因数取决于整个谐振结构的损耗，包括材料的吸收损耗，粗糙表面的散射损耗和辐射损耗。吸收损耗和散射损耗取决于构成谐振器的材料和加工工艺，而辐射损耗是由于电磁波在谐振器中谐振不可避免产生的，并与谐振器的电尺寸强相关。谐振器尺寸越大，曲率半径越小，辐射损耗越小，更容易获得高的品质因数。如可见光可近红外频段的微环腔(Microtoroid)谐振器，因为其光滑的表面和几十甚至上百个波长大小的直径，可达到107量级的品质因数。然而对于微波频段的谐振器，由于电磁波本身波长非常长，如1GHz对应的波长为300mm，电大尺寸的谐振器就过于笨重，绝大多数应用场景都无法实用。而亚波本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种深度亚波长和高品质因数的人工等离激元谐振器，其特征在于，所述谐振器为层状结构，包括：第一谐振图形层(1)、第二谐振图形层(3)、位于第一谐振图形层(1)和第二谐振图形层(3)之间的介质基板层(4)；/n所述第一谐振图形层(1)包括外侧金属圆圈、位于外侧金属圆圈内圆周等间距的放射状金属条形结构；外侧金属圆圈在相邻两个放射状金属条形结构之间设有开缝(2)；/n所述第二谐振图形层(3)为大面积金属地上互补的内侧圆圈、位于内侧圆圈外圆周等间距的放射状条形结构；/n所述第一谐振图形层(1)上的放射状金属条形结构与第二谐振图形层(3)上的放射状条形结构周期相同、上下位置相同。/n

【技术特征摘要】
1.一种深度亚波长和高品质因数的人工等离激元谐振器，其特征在于，所述谐振器为层状结构，包括：第一谐振图形层(1)、第二谐振图形层(3)、位于第一谐振图形层(1)和第二谐振图形层(3)之间的介质基板层(4)；
所述第一谐振图形层(1)包括外侧金属圆圈、位于外侧金属圆圈内圆周等间距的放射状金属条形结构；外侧金属圆圈在相邻两个放射状金属条形结构之间设有开缝(2)；
所述第二谐振图形层(3)为大面积金属地上互补的内侧圆圈、位于内侧圆圈外圆周等间距的放射状条形结构；
所述第一谐振图形层(1)上的放射状金属条形结构与第二谐振图形层(3)上的放射状条形结构周期相同、上下位置相同。


2.根据权利要求1所述的人工等离激元谐振器，其特征在于，所述外侧金属圆圈的宽度与内侧圆圈的宽度相同。


3.根据权利要求1所述的人工等离激元谐振器，其特征在于，所述放射状条形结构末端到外侧金属圆圈的距离与所述放射状金属条形结构末端到内侧圆圈的距离相同。


4.根据权利要求1所述的人工等离激元谐振器，其特征在于，所述介质基板(4)为FR4，F4B，Rogers公司生产的RO4003、3003、4350、RT5880、5870、6002、6006、6010、6035、6202，Ne...

【专利技术属性】
技术研发人员：张璇如，崔铁军，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32