数字X射线检测器和用于其的薄膜晶体管阵列衬底制造技术

本发明专利技术涉及数字X射线检测器和用于其的薄膜晶体管阵列衬底。公开了用于数字X射线检测器的薄膜晶体管阵列衬底，其中，可以使由氧化物半导体制成的薄膜晶体管的电特性的劣化最小化并且可以使由外部湿气引起的PIN二极管的老化最小化。此外，公开了包括阵列衬底的数字X射线检测器。为此，阵列衬底包括具有各种图案的第二保护层，以覆盖PIN二极管的至少一部分但不覆盖薄膜晶体管。第二保护层包括SiN

Digital X-ray detector and thin film transistor array substrate for it

【技术实现步骤摘要】
数字X射线检测器和用于其的薄膜晶体管阵列衬底
本公开内容涉及用于数字X射线检测器的薄膜晶体管阵列衬底，该薄膜晶体管阵列衬底包括具有最小化的由湿气引起的老化的PIN二极管和具有高的电特性均匀性的薄膜晶体管，并且本公开内容还涉及包括该薄膜晶体管阵列衬底的数字X射线检测器。
技术介绍
因为X射线是短波长的，所以X射线能够容易地透射物体。X射线的透射率取决于物体的内部密度。因此，可以通过检测透过物体的X射线的透射率来观察物体的内部结构。在医学领域中使用的基于X射线的检查方法之一是胶片打印方案。然而，在胶片打印方案中，为了检查结果，拍摄图像，以及然后打印胶片。因此，检查结果需要很长时间。特别地，在胶片打印方案中，存储和保存打印的胶片存在许多困难。近来，已经开发出使用薄膜晶体管的数字X射线检测器(DXD)并将其广泛用于医学领域中。数字X射线检测器检测透过物体的X射线的透射率，并且基于透射率在显示器上显示物体的内部状态。因此，数字X射线检测器可以在不使用单独的胶片和打印的纸张的情况下显示物体的内部结构。此外，DXD具有如下优点本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于数字X射线检测器的薄膜晶体管阵列衬底，包括：/n基底衬底；/n设置在所述基底衬底上的薄膜晶体管，其中，所述薄膜晶体管包括有源层、栅电极、以及连接至所述有源层的第一电极和第二电极；/n设置在所述薄膜晶体管上的第一保护层；/n设置在所述第一保护层上的PIN二极管，其中，所述PIN二极管包括连接至所述薄膜晶体管的下电极、所述下电极上的PIN层以及所述PIN层上的上电极；/n覆盖所述PIN二极管的至少一部分的第二保护层，其中，所述薄膜晶体管未被所述第二保护层覆盖；/n设置在所述PIN二极管上并且连接至所述上电极的偏置电极；以及/n设置在所述偏置电极上的第三保护层，其中，所述第三保护层覆盖所...

【技术特征摘要】
20181031 KR 10-2018-01324211.一种用于数字X射线检测器的薄膜晶体管阵列衬底，包括：
基底衬底；
设置在所述基底衬底上的薄膜晶体管，其中，所述薄膜晶体管包括有源层、栅电极、以及连接至所述有源层的第一电极和第二电极；
设置在所述薄膜晶体管上的第一保护层；
设置在所述第一保护层上的PIN二极管，其中，所述PIN二极管包括连接至所述薄膜晶体管的下电极、所述下电极上的PIN层以及所述PIN层上的上电极；
覆盖所述PIN二极管的至少一部分的第二保护层，其中，所述薄膜晶体管未被所述第二保护层覆盖；
设置在所述PIN二极管上并且连接至所述上电极的偏置电极；以及
设置在所述偏置电极上的第三保护层，其中，所述第三保护层覆盖所述薄膜晶体管和所述PIN二极管。


2.根据权利要求1所述的薄膜晶体管阵列衬底，其中，所述第三保护层与所述第一保护层和所述第二保护层两者直接接触。


3.根据权利要求1所述的薄膜晶体管阵列衬底，其中，所述薄膜晶体管阵列衬底还包括设置在所述第二保护层与所述第三保护层之间的平坦化层，
其中，所述平坦化层与所述第一保护层和所述第二保护层两者直接接触。


4.根据权利要求1所述的薄膜晶体管阵列衬底，其中，所述第二保护层覆盖所述PIN二极管的整个表面。


5.根据权利要求1所述的薄膜晶体管阵列衬底，其中，所述第二保护...

【专利技术属性】
技术研发人员：金廷俊，李永镇，韩永勋，张允琼，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR