下载数字X射线检测器和用于其的薄膜晶体管阵列衬底的技术资料

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本发明涉及数字X射线检测器和用于其的薄膜晶体管阵列衬底。公开了用于数字X射线检测器的薄膜晶体管阵列衬底,其中,可以使由氧化物半导体制成的薄膜晶体管的电特性的劣化最小化并且可以使由外部湿气引起的PIN二极管的老化最小化。此外,公开了包括阵列衬...
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