一种靶件生产过程中检测漏气的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种靶件生产过程中检测漏气的装置，包括呈空心圆台状的检测罩、与检测罩相连通的压缩气罐、气体压力检测传感器、报警器和控制器，检测罩与靶件密封连接且两者之间形成环形空腔，空腔内设有沿检测罩圆周方向均布有若干气体压力检测传感器，气体压力检测传感器、报警器与控制器电连接；检测罩为若干个，相互并列设置在靶件上用于将靶件焊接点完全包覆；检压缩气罐包括储气罐和压缩机，储气罐的出口依次与压缩机、磁阀与检测罩内的空腔相连通；检测罩通过负压吸附部件与靶件密封连接；本实用新型专利技术具有结构简单，设计合理，能够精确测量生产装置是否存在漏点、漏点的位置，以及漏率的大小，操作方便，性能稳定，灵敏度高。

A device for detecting air leakage in target production

【技术实现步骤摘要】
一种靶件生产过程中检测漏气的装置
本技术属于漏气检测
，尤其涉及一种靶件生产过程中检测漏气的装置。
技术介绍
在半导体工业中，靶件是由符合溅射性能的靶材和与靶材结合、具有一定强度的背板构成。背板可以在所述靶材组件装配至溅射机台中起到支撑作用，并具有传导热量的功效。靶材组件是通过将靶材和背板材料焊接在一起形成的，需使其既可以可靠地安装在溅射机台上，同时又可以在磁场、电场作用下有效控制进行溅射。在溅射过程中，由于靶材的工作环境比较恶劣，如果靶材与背板之间的结合度较差，将导致靶材在受热条件下变形、开裂、并与结合的背板相脱落，使得溅射无法达到溅射均匀的效果，同时还可能会对溅射机台造成损伤。因此，靶件在抽真空之前，需要对靶件的气密性进行检漏很必要的。传统的密封检测工艺仅针对焊缝进行，例如渗透检测像生产装置内注入水，通过检测密封处(焊缝处)是否有水滴渗出，以确定漏点位置；再例如气密性实验为在其作业时，向靶件内通入检测气体进行检漏。虽然上述两种检漏方法存在一定程度上减少了靶件破损，但仍存在不足：1.采用第一种检漏方法，若漏点尺寸较小，则渗出的水滴很小，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶件生产过程中检测漏气的装置，其特征在于，包括呈空心圆台状的检测罩、与检测罩相连通的压缩气罐、气体压力检测传感器、报警器和控制器，所述检测罩与靶件密封连接且两者之间形成环形空腔，所述空腔内设有沿检测罩圆周方向均布有若干气体压力检测传感器，所述气体压力检测传感器、报警器与控制器电连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶件生产过程中检测漏气的装置，其特征在于，包括呈空心圆台状的检测罩、与检测罩相连通的压缩气罐、气体压力检测传感器、报警器和控制器，所述检测罩与靶件密封连接且两者之间形成环形空腔，所述空腔内设有沿检测罩圆周方向均布有若干气体压力检测传感器，所述气体压力检测传感器、报警器与控制器电连接。


2.根据权利要求1所述的一种靶件生产过程中检测漏气的装置，其特征在于，所述检测罩为若干个，相互并列设置在靶件上用于将靶件焊接点完全包覆。


3.根据权利要求2所述的一种靶件生产过程中检测漏气的装置，其特征在于，所述检测罩与压...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱清，徐刚，田力，王成钢，郭滨传，
申请(专利权)人：启迪蓝光福建新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35