一种电容式压力传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种电容式压力传感器，包括壳体，所述壳体的一侧设有O型密封圈，所述壳体的另一侧设有碟形密封圈，所述碟形密封圈远离壳体的一侧设有陶瓷敏感元件，所述陶瓷敏感元件的一侧设有信号处理电路装置，所述信号处理电路装置的一侧设有接插件，所述壳体的内部设有限位机构，所述限位机构的底部设有密封腔，所述信号处理电路装置的内部设有有源滤波器、模拟乘法器和锁相环电路。本实用新型专利技术具有结构新颖、设计巧妙、方便使用、成本低的优点，提高了称重结果的准确性，同时降低外界的干扰，通过设置陶瓷敏感元件，易于多功能转化和集成化，提高了传感器的稳定性和可靠性。

A capacitive pressure sensor

【技术实现步骤摘要】
一种电容式压力传感器
本技术涉及传感器领域,特别涉及一种电容式压力传感器。
技术介绍
电容式压力传感器是以各种类型的电容器作为传感元件，将被测物理量或机械量转换成为电容量变化的一种转换装置，实际上就是一个具有可变参数的电容器。电容式传感器广泛用于位移、角度、振动、速度、压力、成分分析、介质特性等方面的测量。70年代末以来，随着集成电路技术的发展,出现了与微型测量仪表封装在一起的电容式传感器。这种新型的传感器能使分布电容的影响大为减小，使其固有的缺点得到克服。电容式传感器是一种用途极广，很有发展潜力的传感器。典型的电容式传感器由上下电极、绝缘体和衬底构成。当薄膜受压力作用时，薄膜会发生一定的变形，因此，上下电极之间的距离发生一定的变化，从而使电容发生变化。但电容式压力传感器的电容与上下电极之间的距离的关系是非线性关系，因此，要用具有补偿功能的测量电路对输出电容进行非线性补偿。由此可见，虽然电容式传感器技术在发展经济、推动社会进步方面的重要作用十分明显,但是现有的电容式传感器仍然存在着不足,输出阻抗高，负载能力差,易受外界干扰影响而产生不稳定现象，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电容式压力传感器，包括壳体（1），其特征在于,所述壳体（1）的一侧设有O型密封圈（2），所述壳体（1）的另一侧设有碟形密封圈（3），所述碟形密封圈（3）远离壳体（1）的一侧设有陶瓷敏感元件（4），所述陶瓷敏感元件（4）的一侧设有信号处理电路装置（5），所述信号处理电路装置（5）的一侧设有接插件（6），所述信号处理电路装置（5）的一侧与陶瓷敏感元件（4）连接，所述信号处理电路装置（5）的另一侧与接插件（6）连接，所述壳体（1）的内部设有限位机构（7），所述限位机构（7）的底部设有密封腔（8），所述信号处理电路装置（5）的内部设有有源滤波器、模拟乘法器和锁相环电路。/n

【技术特征摘要】
1.一种电容式压力传感器，包括壳体（1），其特征在于,所述壳体（1）的一侧设有O型密封圈（2），所述壳体（1）的另一侧设有碟形密封圈（3），所述碟形密封圈（3）远离壳体（1）的一侧设有陶瓷敏感元件（4），所述陶瓷敏感元件（4）的一侧设有信号处理电路装置（5），所述信号处理电路装置（5）的一侧设有接插件（6），所述信号处理电路装置（5）的一侧与陶瓷敏感元件（4）连接，所述信号处理电路装置（5）的另一侧与接插件（6）连接，所述壳体（1）的内部设有限位机构（7），所述限位机构（7）的底部设有密封腔（8），所述信号...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏天佑，
申请(专利权)人：蚌埠启力传感系统工程有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34