一种用于集成电路测试的表面扫描装置制造方法及图纸

技术编号:24086598 阅读:53 留言:0更新日期:2020-05-09 06:18
本发明专利技术公开了一种用于集成电路测试的表面扫描装置,包括工作台,所述工作台顶部的靠中心位置固定安装有放置板,所述放置板的顶部设置有被测试设备本体,所述被测试设备本体的底部与放置板的顶部接触,所述工作台顶部的靠两侧位置均固定连接有支撑板,两个支撑板的顶部固定连接有顶板。该用于集成电路测试的表面扫描装置,通过活动板、扫描支架、横板、旋转轴、探头安装块和探头的设计,使得该装置采用机械定位的方式,拥有高精度的定位系统,保证定位的准确和稳定,使用的定位系统为传统笛卡尔坐标系,机械定位方式,并添加旋转轴,实现四轴定位,精度达到万分之一米级别,磁场探头和电场探头设计结构不同,提高了采样精度。

A surface scanning device for IC test

【技术实现步骤摘要】
一种用于集成电路测试的表面扫描装置
本专利技术涉及集成电路
,具体为一种用于集成电路测试的表面扫描装置。
技术介绍
集成电路(integratedcircuit)是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺,把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起,制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上,然后封装在一个管壳内,成为具有所需电路功能的微型结构;其中所有元件在结构上已组成一个整体,使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步。它在电路中用字母“IC”表示。集成电路专利技术者为杰克·基尔比(基于锗(Ge)的集成电路)和罗伯特·诺伊思(基于硅(Si)的集成电路)。当今半导体工业大多数应用的是基于硅的集成电路。用于集成电路测试的表面扫描装置,主要是针对在集成电路电磁兼容测试中,在进行EMI辐射发射测试和EMS辐射抗扰度测试时,需要使用磁场或电场探头对集成电路表面进行辐射采样,或是向集成电路表面施加辐射干扰。在这一过程中,需要表面扫描装置,包含定位系统和探头两部分。传统的用于集成电路测试的表面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于集成电路测试的表面扫描装置,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)顶部的靠中心位置固定安装有放置板(2),所述放置板(2)的顶部设置有被测试设备本体(3),所述被测试设备本体(3)的底部与放置板(2)的顶部接触,所述工作台(1)顶部的靠两侧位置均固定连接有支撑板(4),两个支撑板(4)的顶部固定连接有顶板(5),所述顶板(5)底部的靠中心位置活动安装有活动板(6),所述活动板(6)底部的靠中心位置活动安装有扫描支架(7),所述扫描支架(7)前表面的靠顶部位置固定安装有横板(8),所述扫描支架(7)前表面的靠底部位置活动连接有旋转轴(9),所述旋转轴(9)的前端固定安装有探头...

【技术特征摘要】
1.一种用于集成电路测试的表面扫描装置,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)顶部的靠中心位置固定安装有放置板(2),所述放置板(2)的顶部设置有被测试设备本体(3),所述被测试设备本体(3)的底部与放置板(2)的顶部接触,所述工作台(1)顶部的靠两侧位置均固定连接有支撑板(4),两个支撑板(4)的顶部固定连接有顶板(5),所述顶板(5)底部的靠中心位置活动安装有活动板(6),所述活动板(6)底部的靠中心位置活动安装有扫描支架(7),所述扫描支架(7)前表面的靠顶部位置固定安装有横板(8),所述扫描支架(7)前表面的靠底部位置活动连接有旋转轴(9),所述旋转轴(9)的前端固定安装有探头安装块(10),所述探头安装块(10)的靠中心位置活动安装有探头(11),所述探头(11)通过信号连接有探头适配器,探头适配器位于工作台(1)的后端,所述工作台(1)的底部固定连接有底座...

【专利技术属性】
技术研发人员:郑益民王逸晨方旭
申请(专利权)人:浙江诺益科技有限公司
类型:发明
国别省市:浙江;33

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