【技术实现步骤摘要】
表面性状测定方法和表面性状测定装置
本专利技术涉及一种表面性状测定方法和表面性状测定装置。
技术介绍
已知下面的表面性状测定装置(参照专利文献1)：通过触针对被测定物表面进行仿形扫描，由此对被测定物的表面性状(轮廓形状、表面粗糙度、波纹度等)进行测定。专利文献1中所公开的表面性状测定装置具备：测定臂，其被支承为能够进行圆弧运动；触针，其被设置于测定臂的顶端；测定力施加单元，其对测定臂作用力以使触针以规定的测定力抵接被测定物；移动机构，其使测定臂相对于工作台进行相对移动；以及位移检测部，其用于检测测定臂的通过圆弧运动产生的位移。表面性状测定装置具有能够使测定臂一边进行仿形移动一边跟随的极限的角度(跟随极限角度)。即，在被测定面的倾斜角度平缓(倾斜角度为跟随极限角度以下)的情况下，触针能够以固定的测定力接触被测定面并进行仿形移动。另一方面，在被测定面的倾斜角度超过了跟随极限角度的情况下，触针无法跟随被测定面的倾斜而从被测定面离开并抬起，之后再次向被测定面接近并发生撞击(被称为测定臂的落下)。当产生测定臂的...
【技术保护点】
1.一种表面性状测定方法，其特征在于，/n使用表面性状测定装置，所述表面性状测定装置具有被支承为以使触针沿上下方向产生位移的方式自如摆动的臂以及使所述臂转动来将所述触针保持在规定高度的臂升降机，/n将所述臂升降机配置为能够将所述臂保持在下限高度的状态，所述下限高度为从规定的测定高度起的向下规定的落下量的位置，之后，/n将所述臂配置在所述测定高度且使所述触针接触被测定物，/n在该状态下对所述被测定物的表面性状进行测定。/n
【技术特征摘要】
20181031 JP 2018-2047601.一种表面性状测定方法，其特征在于，
使用表面性状测定装置，所述表面性状测定装置具有被支承为以使触针沿上下方向产生位移的方式自如摆动的臂以及使所述臂转动来将所述触针保持在规定高度的臂升降机，
将所述臂升降机配置为能够将所述臂保持在下限高度的状态，所述下限高度为从规定的测定高度起的向下规定的落下量的位置，之后，
将所述臂配置在所述测定高度且使所述触针接触被测定物，
在该状态下对所述被测定物的表面性状进行测定。
2.根据权利要求1所述的表面性状测定方法，其特征在于，
所述表面性状测定装置具有：测定器主体，其设置有所述臂和所述臂升降机；以及移动机构，其能够使所述测定器主体相对于所述被测定物进行相对移动，
在所述测定器主体中，将所述臂升降机配置为能够将所述臂保持在所述下限高度的状态，之后，
通过利用所述移动机构使所述测定器主体移动，来使所述触针接触所述被测定物，并且将所述臂配置在所述测定高度，
在该状态下对所述被测定物的表面性状进行测定。
3.根据权利要求1或2所述的表面性状测定方法，其特征在于，
所述下限高度和所述测定高度是根据所述被测定物的设计信息预先设定的。
4.根据权利...
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