【技术实现步骤摘要】
用于光学元件快速抛光的浮动加压夹持装置及其方法
本专利技术属于光学加工领域,尤其涉及一种用于光学元件快速抛光的浮动加压夹持装置及其方法。
技术介绍
在大口径平面光学元件的加工过程中,平面快速抛光可以快速去除元件磨削亚表面缺陷、收敛元件表面精度,平面快速抛光的加工效率和精度结果对于提高整个加工流程的制造效率至关重要。平面快速抛光的加工原理如下:光学元件受抛光头在其背面施加的压力作用紧贴于大尺寸抛光盘的表面,并在抛光头夹持带动下进行主动旋转,在抛光盘与元件之间添加由微米/亚微米磨粒和化学溶液组成的抛光液,光学元件在抛光盘/抛光颗粒机械摩擦及抛光液化学腐蚀的共同作用下产生表面材料去除。在平面快速抛光过程中,元件的材料去除效率与抛光压力正相关,而元件的面形精度与抛光界面的压力分布均匀性密切相关。由于工件与抛光盘之间的抛光压力主要来源于机床的夹持抛光头,因此设计合理的元件夹持抛光头,可在提高加载抛光压力的同时,提高抛光压力分布均匀性,对于同时提高抛光效率和元件抛光精度至关重要。为了增加工件与抛光盘之间的贴合性,多数全口径单面抛光机床( ...
【技术保护点】
1.用于光学元件快速抛光的浮动加压夹持装置,其特征在于:包括联轴器(1)、联接板(2)、多个联接螺栓(3)、多个夹持杆(4)、压重块(6)和多个工件挡块(5),所述联轴器(1)的上端与抛光机床的工件轴相连接,联轴器(1)的下端与联接板(2)连接;所述联接板(2)上设置有多个通孔,所述多个联接螺栓(3)分别穿过通孔与设置在联接板(2)下方的压重块(6)连接,且所述联接板(2)的下表面与压重块(6)之间保持一段间隙,所述多个夹持杆(4)对称设置在联接板(2)四周,所述多个工件挡块(5)连接在夹持杆(4)下端,且所述多个工件挡块(5)之间形成光学元件(9)的装夹尺寸。/n
【技术特征摘要】
1.用于光学元件快速抛光的浮动加压夹持装置,其特征在于:包括联轴器(1)、联接板(2)、多个联接螺栓(3)、多个夹持杆(4)、压重块(6)和多个工件挡块(5),所述联轴器(1)的上端与抛光机床的工件轴相连接,联轴器(1)的下端与联接板(2)连接;所述联接板(2)上设置有多个通孔,所述多个联接螺栓(3)分别穿过通孔与设置在联接板(2)下方的压重块(6)连接,且所述联接板(2)的下表面与压重块(6)之间保持一段间隙,所述多个夹持杆(4)对称设置在联接板(2)四周,所述多个工件挡块(5)连接在夹持杆(4)下端,且所述多个工件挡块(5)之间形成光学元件(9)的装夹尺寸。
2.如权利要求1所述的用于光学元件快速抛光的浮动加压夹持装置,其特征在于:所述联接螺栓(3)上部具有一段光滑的圆锥面(32)。
3.如权利要求1所述的用于光学元件快速抛光的浮动加压夹持装置,其特征在于:所述压重块(6)底部设置有隔垫(7)。
4.如权利要求3所述的用于光学元件快速抛光的浮动加压夹持装置,其特征在于:所述隔垫(7)通过双面胶粘附在压重块(6)底部。
5.如权利要求1所述的用于光学元件快速抛光的浮动加压夹持装置,其特征在于:所述联轴器(1)的下端通过锁紧螺钉(8)与联接板(2)连接,所述多个工件挡块(5)通过锁紧螺钉(8)固定连接在夹持杆(4)下端。
6.如权利要求1所述的用于光学元件快速抛光的浮动加压夹持装置,其特征在于:所述压重块(6)重叠设置多个,联接螺栓(3)通过其下端部的螺纹(31)固定在最下面的一块压重块(6)中,隔垫(7)设置...
【专利技术属性】
技术研发人员:谢瑞清,王健,张清华,赵世杰,廖德锋,陈贤华,刘民才,许乔,田亮,肖厚轶,郭惠清,
申请(专利权)人:中国工程物理研究院激光聚变研究中心,
类型:发明
国别省市:四川;51
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