下载用于光学元件快速抛光的浮动加压夹持装置及其方法的技术资料

文档序号:24065517

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本发明提供一种用于光学元件快速抛光的浮动加压夹持装置,在提高抛光材料去除效率的同时获得较高的面形精度。用于光学元件快速抛光的浮动加压夹持装置,联轴器的上端与抛光机床的工件轴相连接,联轴器的下端与联接板连接;联接板上设置有多个通孔,多个联接螺...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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