【技术实现步骤摘要】
一种方形金属薄膜支撑结构
本技术涉及电子束辐照加工领域,具体涉及一种方形金属薄膜支撑结构。
技术介绍
辐照加工时,电子枪射出电子束,并在真空室内扩展形成线性电子束带后,通过贴附在支撑窗开口上的薄膜引出至被辐照物质,有效地杀灭害虫、虫卵、病菌等,支撑窗上的薄膜需要密封安装,以隔绝真空室,市场上的薄膜为减少电子束通过薄膜时的能量损耗,薄膜的厚度通常为几十微米,薄膜的承压能力弱,为减少电子束通过薄膜时的能量损耗,薄膜的厚度通常为几十微米,薄膜的承压能力弱,并且在对真空室进行抽真空和电子束射出时,薄膜会沿着受力方向变形,而在大型的辐照装置需要设置较大开口的支撑窗以及更大功率的真空泵,薄膜容易爆裂,现有技术中的一种支撑窗在开口内设置筋条,但由于开口较大,其内的筋条受到大功率的真空泵的吸力易产生不规则的变形,从而形成不同大小的通口,导致薄膜在不同支撑区域上受到不同且不均匀的支撑力,从而产生不规则的形变而破裂,大气进入后导致电子枪烧毁、真空泵损坏、电源损坏,造成重大经济损失,影响支撑窗的稳定性和工作的安全性。
技术实现思路
>针对现有技术存在的本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种方形金属薄膜支撑结构,包括薄膜(1)和支撑窗(2),所述支撑窗(2)上设有用于供电子束穿过的开口(2.1),所述薄膜(1)布置于开口(2.1)上,其特征在于:所述开口(2.1)内设有依次间隔设置的若干支撑单元(3),所述支撑单元(3)包括并排间隔设置的若干第一筋条(3.1),每个支撑单元内的每个第一筋条(3.1)均弯曲设置。/n
【技术特征摘要】
1.一种方形金属薄膜支撑结构,包括薄膜(1)和支撑窗(2),所述支撑窗(2)上设有用于供电子束穿过的开口(2.1),所述薄膜(1)布置于开口(2.1)上,其特征在于:所述开口(2.1)内设有依次间隔设置的若干支撑单元(3),所述支撑单元(3)包括并排间隔设置的若干第一筋条(3.1),每个支撑单元内的每个第一筋条(3.1)均弯曲设置。
2.根据权利要求1所述的一种方形金属薄膜支撑结构,其特征在于:所述弯曲设置指的是,所述第一筋条(3.1)包括第一支撑部(3.5)和第二支撑部(3.6),所述第一支撑部(3.5)与第二支撑部(3.6)的弯曲趋势相对或相同设置。
3.根据权利要求1所述的一种方形金属薄膜支撑结构,其特征在于:所述支撑单元还包括第二筋条(3.2),所述第二筋条(3.2)与第一筋条(3.1)相交设置。
4.根据权利要求3所述的一种方形金属薄膜支撑结构,其特征在于:所述第二筋条(3.2)低于第一筋条(3.1)的端面设置。
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【专利技术属性】
技术研发人员:杨天晗,
申请(专利权)人:宁波中物光电杀菌技术有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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