具有多孔径进气通道的线性阳极层离子源制造技术

本实用新型专利技术属于离子源技术领域，具体涉及一种具有多孔径进气通道的线性阳极层离子源，包括一具有长条状安装槽的壳体，所述安装槽的槽腔中心处设有一竖向布置的磁体；所述磁体与所述安装槽的槽底、两侧槽壁围合形成两个独立的放电室，所述的放电室内设有阳极支架且在所述放电室的底部设有贯穿壳体的注气孔，所述的阳极支架上设有连续的大直径段进气通道和小直径段进气通道连通至所述的注气孔供气体注入到放电室内，所述注气孔的孔径小于大直径段进气通道的孔径；由于气体通道的多级直径变化，供气瓶的压力被有效缓冲，进入放电室的气体的流速变缓；改变了放电室和离子源外部的真空压力差，使得低流速的气体实现了在放电室中充分的离化。

A linear anode layer ion source with multiple inlet channels

【技术实现步骤摘要】
具有多孔径进气通道的线性阳极层离子源
本技术属于离子源
，具体涉及一种具有多孔径进气通道的线性阳极层离子源。
技术介绍
阳极层离子源是以辉光放电和带电粒子在电磁场中的运动为理论基础，其工作原理是：在阳极施加高电压，内外阴极接地，阴阳电极间的气体发生辉光放电，产生大量的电子和离子，等离子体通过内阴极和外阴极之间的狭缝出口进入真空腔体，由于在出口处有近似正交的电场和磁场可以对等离子体中的电子运动轨迹进行束缚，形成环形霍尔电流，限制电子的运动范围，可以增加电子与中性气体分子或原子的碰撞几率，提高气体的离化率。阳极表面附近区域的阳离子在阴阳两极之间的电势差和霍尔电流的共同加速下，被从出口引出，形成离子束，因此该离子源被为阳极层离子源。随着薄膜材料和表面处理技术的发展，人们对离子源的应用需求不断提高，阳极层离子源技术也得到了快速的发展，根据不同的结构特点，阳极层离子源可分为圆柱形阳极层离子源和线性阳极层离子源，虽然两者的几何形式不同，但是都包括外阴极、内阴极、阳极、磁座、永磁铁等结构，并由它们构建离子源的电磁场系统、布气系统、水冷系统等主要本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有多孔径进气通道的线性阳极层离子源，其特征在于，包括一具有长条状安装槽(11)的壳体(10)，所述安装槽(11)的槽腔中心处设有一竖向布置的磁体(20)；所述磁体(20)与所述安装槽(11)的槽底、两侧槽壁围合形成两个独立的放电室(1)，所述的放电室(1)内设有阳极支架(12)且在所述放电室(1)的底部设有贯穿壳体(10)的注气孔(13)，所述的阳极支架(12)上设有连续的大直径段进气通道(121)和小直径段进气通道(122)连通至所述的注气孔(13)供气体注入到放电室(1)内，所述注气孔(13)的孔径小于大直径段进气通道(121)的孔径。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有多孔径进气通道的线性阳极层离子源，其特征在于，包括一具有长条状安装槽(11)的壳体(10)，所述安装槽(11)的槽腔中心处设有一竖向布置的磁体(20)；所述磁体(20)与所述安装槽(11)的槽底、两侧槽壁围合形成两个独立的放电室(1)，所述的放电室(1)内设有阳极支架(12)且在所述放电室(1)的底部设有贯穿壳体(10)的注气孔(13)，所述的阳极支架(12)上设有连续的大直径段进气通道(121)和小直径段进气通道(122)连通至所述的注气孔(13)供气体注入到放电室(1)内，所述注气孔(13)的孔径小于大直径段进气通道(121)的孔径。


2.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈伟，张静，高明浩，江晨，
申请(专利权)人：陈伟，
类型：新型
国别省市：安徽;34