下载具有多孔径进气通道的线性阳极层离子源的技术资料

文档序号:24057244

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型属于离子源技术领域,具体涉及一种具有多孔径进气通道的线性阳极层离子源,包括一具有长条状安装槽的壳体,所述安装槽的槽腔中心处设有一竖向布置的磁体;所述磁体与所述安装槽的槽底、两侧槽壁围合形成两个独立的放电室,所述的放电室内设有阳极支...
该专利属于陈伟所有,仅供学习研究参考,未经过陈伟授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。