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具有多孔径进气通道的线性阳极层离子源制造技术
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文档序号:24057244
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本实用新型属于离子源技术领域,具体涉及一种具有多孔径进气通道的线性阳极层离子源,包括一具有长条状安装槽的壳体,所述安装槽的槽腔中心处设有一竖向布置的磁体;所述磁体与所述安装槽的槽底、两侧槽壁围合形成两个独立的放电室,所述的放电室内设有阳极支...
该专利属于陈伟所有,仅供学习研究参考,未经过陈伟授权不得商用。
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