光学式感测装置的制造方法和光学式感测装置制造方法及图纸

本申请公开了一种光学式感测装置的制造方法。所述光学式感测装置的制造方法包括：提供一晶圆，所述晶圆包括多个第一图像传感裸片，每一第一图像传感裸片包括多个像素单元，所述像素单元用于接收光束，并转换接收到的光束为相应的电信号；在所述晶圆上形成多个镜头模块；和对所述晶圆和所述镜头模块进行切割，成多个第二图像传感裸片，其中，每一第二图像传感裸片包括一所述第一图像传感裸片以及位于所述第一图像传感裸片上方的镜头模块。本申请还提供由所述光学式感测装置的制造方法所制造出来的光学式感测装置。

Manufacturing method and optical sensing device of optical sensing device

【技术实现步骤摘要】
光学式感测装置的制造方法和光学式感测装置
本申请涉及光电
，尤其涉及一种具有超薄尺寸的光学式感测装置的制造方法和光学式感测装置。
技术介绍
随着技术进步和人们生活水平提高，对于手机、平板电脑、相机等电子设备，用户要求具有更多功能和时尚外观。目前，手机等电子设备的发展趋势是具有较高的屏占比同时具有指纹检测等功能。为了实现全面屏或接近全面屏效果，使得电子设备具有高的屏占比，屏下的指纹检测技术应运而生。由于手机等电子设备内部空间有限，而使用传统透镜实现光学成像的成像装置由于尺寸和体积较大，其占用空间较大，有必要提供一种体积较小的用于成像的装置。
技术实现思路
有鉴于此，本申请提供一种能够解决或改善现有技术问题的光学式感测装置的制造方法和光学式感测装置。本申请提供一种光学式感测装置的制造方法，包括：提供一晶圆，所述晶圆包括多个第一图像传感裸片，每一第一图像传感裸片包括多个像素单元，所述像素单元用于接收光束，并转换接收到的光束为相应的电信号；在所述晶圆上形成多个镜头模块，所述镜头模块包括：多个小透镜，设置在所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学式感测装置的制造方法，其特征在于，包括：/n提供一晶圆，所述晶圆包括多个第一图像传感裸片，每一第一图像传感裸片包括多个像素单元，所述像素单元用于接收光束，并转换接收到的光束为相应的电信号；/n在所述晶圆上形成多个镜头模块，所述镜头模块包括：/n多个小透镜，设置在所述第一图像传感裸片上，所述多个小透镜彼此间隔设置，每个所述小透镜正对多个所述像素单元，所述小透镜用于会聚光束至所述像素单元；和/n遮光部，设置在所述第一图像传感裸片上，所述遮光部位于所述多个小透镜之间的间隔区域，所述遮光部用于遮挡光束；和/n对所述晶圆和所述镜头模块进行切割，形成多个第二图像传感裸片，其中，每一第二图像传感...

【技术特征摘要】
1.一种光学式感测装置的制造方法，其特征在于，包括：
提供一晶圆，所述晶圆包括多个第一图像传感裸片，每一第一图像传感裸片包括多个像素单元，所述像素单元用于接收光束，并转换接收到的光束为相应的电信号；
在所述晶圆上形成多个镜头模块，所述镜头模块包括：
多个小透镜，设置在所述第一图像传感裸片上，所述多个小透镜彼此间隔设置，每个所述小透镜正对多个所述像素单元，所述小透镜用于会聚光束至所述像素单元；和
遮光部，设置在所述第一图像传感裸片上，所述遮光部位于所述多个小透镜之间的间隔区域，所述遮光部用于遮挡光束；和
对所述晶圆和所述镜头模块进行切割，形成多个第二图像传感裸片，其中，每一第二图像传感裸片包括一所述第一图像传感裸片以及位于所述第一图像传感裸片上方的镜头模块。


2.如权利要求1所述的光学式感测装置的制造方法，其特征在于，进一步包括：
形成过滤层在所述晶圆上，所述过滤层用于透过目标波段的光束给所述多个第一图像传感裸片，以及过滤掉第二预设波段的光束，其中，所述第二预设波段与所述目标波段不同。


3.如权利要求2所述的光学式感测装置的制造方法，其特征在于，所述过滤层形成在所述晶圆与所述镜头模块之间，或者，所述过滤层形成在所述镜头模块背对所述晶圆的一侧。


4.如权利要求2所述的光学式感测装置的制造方法，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：董佳群，林峰，
申请(专利权)人：深圳阜时科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44