一种用于制备氮化铝的催化剂及其制备方法与应用技术

本发明专利技术涉及一种催化剂及其制备方法与应用，具体涉及一种用于制备氮化铝的催化剂及其制备方法与应用。本发明专利技术用于制备氮化铝的催化剂包括下述重量份的组分：白云石30‑50份，萤石20‑30份，氯化铵10‑20份，硝酸铁15‑25份。本发明专利技术催化剂可于氧化铝碳热还原法制备氮化铝中用作催化剂，能迅速提升氧化铝制备氮化铝的转化效率和反应速度，大幅度缩短高温反应时间，减少能耗，提高生产效率，推进我国5G通信产业关键原材料发展；并且，本发明专利技术催化剂的制备原料来源简单可靠，储存方便。

【技术实现步骤摘要】
一种用于制备氮化铝的催化剂及其制备方法与应用
本专利技术涉及一种催化剂及其制备方法与应用，具体涉及一种用于制备氮化铝的催化剂及其制备方法与应用。
技术介绍
随着微电子和集成电路制造领域不断向更高集成度、更小型化、更高可靠性等方向发展，单位体积集成块上电子元器件工作中产生的热量剧幅增加，过多的热量散发不出去势必会对基板上的电子元件产生不可逆的损伤，甚至导致集成块的烧毁，这种发展趋势对电子封装基板的热传导性提出了更高要求。氮化铝(AlN)是一种具有高热传导性、低介电常数和介电损耗、高体积电阻率、室温和高温力学性能良好以及与硅相近的热膨胀系数等优良综合性能的新兴陶瓷材料。而且AlN化学性质稳定无毒，相比于BeO的剧毒性，使其最终受到人们的广泛关注，成为一种最有希望替代Al2O3成为新一代大规模集成电路半导体制造和电子封装基片的理想材料。现有技术常采用碳热还原法制备氮化铝，然而现有的碳热还原法存在反应速度慢，转化效率低等问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述现有技术的不足之处而提供一种用于制备氮化本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于制备氮化铝的催化剂，其特征在于，包括下述重量份的组分：白云石30-50份，萤石20-30份，氯化铵10-20份，硝酸铁15-25份。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于制备氮化铝的催化剂，其特征在于，包括下述重量份的组分：白云石30-50份，萤石20-30份，氯化铵10-20份，硝酸铁15-25份。


2.如权利要求1所述的用于制备氮化铝的催化剂，其特征在于，包括下述重量份的组分：白云石30份，萤石30份，氯化铵20份，硝酸铁20份。


3.如权利要求1所述的用于制备氮化铝的催化剂，其特征在于，包括下述重量份的组分：白云石50份，萤石20份，氯化铵10份，硝酸铁20份。


4.如权利要求1～3任一项所述的用于制备氮化铝的催化剂，其特征在于，所述催化剂为粉末状。


5.如权利要求1～4任一项所述催化剂的制备方法，其特征在于，所述催化剂通过将白云石、萤石、氯化铵和硝酸铁按比例混合得到。


6.如权利要求5所述催化剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：<...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹荔松，王向科，钟兆祥，甘颖俊，吴盈华，
申请(专利权)人：广东华科新材料研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44