【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于测量分析气体的浓度的气体传感器
本专利技术涉及一种基于热传导原理的、用于测量分析气体的浓度的气体传感器，所述气体传感器具有：布置在第一膜片上的、用于加热分析气体的至少一个分析加热元件；布置在第二膜片上的、用于加热参考气体的参考加热元件；至少一个分析处理电子部件，用于测量分析加热元件的由分析气体引起的、相对于参考加热元件的电阻而言的阻抗变化。
技术介绍
在按照阻抗式测量原理工作的气体传感器中，待测量的气体或气体混合物直接影响气体敏感的传感器元件的传导能力。该阻抗变化用作为针对气体或气体混合物的浓度的测量值。在这里，气体敏感的传感器元件可以是传感器层或加热元件。在一个膜片上例如可以布置有一个或多个呈铂加热件的形式的加热元件。这些加热元件能够以恒定的电流或以恒定的功率运行并且高于环境温度。为了测量氢气浓度，相对于空气的260μW/cmK的导热能力而言，例如可以利用氢气的1810μW/cmK的导热能力。如果在加热元件的环境中存在氢气，那么由于氢气的较高的导热能力和与其相随的较大的散热，加热元件的温度降低并且因此该加热元件...
【技术保护点】
1.气体传感器(1)，该气体传感器用于基于热传导原理测量分析气体的浓度，该气体传感器具有：布置在第一膜片(2)上的、用于加热所述分析气体的至少一个分析加热元件；布置在第二膜片(4)上的、用于加热参考气体的参考加热元件；用于测量所述分析加热元件的由所述分析气体引起的、相对于所述参考加热元件的电阻而言的阻抗变化的至少一个分析处理电子部件(28)，其特征在于，所述第一膜片(2)和所述第二膜片(4)彼此相邻地布置在传感器衬底(6)中，其中，通过在一侧布置在所述传感器衬底(6)上的基座衬底(8)能够在所述第一膜片(2)和所述基座衬底(8)之间形成测量容积(12)并且在所述第二膜片(4...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170905 DE 102017215527.21.气体传感器(1)，该气体传感器用于基于热传导原理测量分析气体的浓度，该气体传感器具有：布置在第一膜片(2)上的、用于加热所述分析气体的至少一个分析加热元件；布置在第二膜片(4)上的、用于加热参考气体的参考加热元件；用于测量所述分析加热元件的由所述分析气体引起的、相对于所述参考加热元件的电阻而言的阻抗变化的至少一个分析处理电子部件(28)，其特征在于，所述第一膜片(2)和所述第二膜片(4)彼此相邻地布置在传感器衬底(6)中，其中，通过在一侧布置在所述传感器衬底(6)上的基座衬底(8)能够在所述第一膜片(2)和所述基座衬底(8)之间形成测量容积(12)并且在所述第二膜片(4)和所述基座衬底(8)之间形成参考容积(16)，其中，所述参考容积(16)通过在所述第二膜片(4)中的开口(18)与相邻的环境导流地连接。
2.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，所述测量容积(12)和/或所述参考容积(16)至少局部地形成在所述传感器衬底(6)内部和/或至少部分地形成在所述基座衬底(8)内部。
3.根据权利要求1或2所述的气体传感器，其中，所述参考容积(16)是敞开的或闭合的容积。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的气体传感器，其中，所述分析气体能够...
【专利技术属性】
技术研发人员：R·米勒，T·S·弗赖，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE
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