下载用于测量分析气体的浓度的气体传感器的技术资料

文档序号:24019232

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本发明公开了一种气体传感器,该气体传感器用于基于热传导原理测量分析气体的浓度,该气体传感器具有:布置在第一膜片上的、用于加热所述分析气体的至少一个分析加热元件;布置在第二膜片上的、用于加热参考气体的参考加热元件;用于测量所述分析加热元件的由...
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