【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】显微光谱仪模块和用于借助于显微光谱仪模块来记录光谱的方法
本专利技术的出发点是一种根据独立权利要求的前序部分所述的设备或方法。本专利技术的主题也是一种计算机程序。
技术介绍
在US20140320858A1中提出了一种显微光谱仪,该显微光谱仪基于光学滤波器、透镜和探测器阵列。视光以哪个角度射到滤波器上而定,使不同的波长范围透过。接着,通过透镜使不同角度的光分别成像到探测器阵列的不同位置并且因此获得光谱。在此,取决于光学滤波器,只能检查大约35nm的波长间隔。为了增加能检查的波长范围,需要使用分辨率高的分段光学滤波元件、微透镜阵列和探测器阵列。然而,在此,来自微透镜阵列的不同区段的光可能在探测器阵列上交叠,这可能导致测量错误。
技术实现思路
在该背景下,利用这里所提出的方案,提出了根据独立权利要求所述的一种显微光谱仪模块、一种用于借助于显微光谱仪模块来记录光谱的方法,还有一种应用该方法的设备,以及最后一种相对应的计算机程序。通过在从属权利要求中提及的措施,对在独立权利要求中说明的设备的有利的扩展和改
【技术保护点】
1.一种显微光谱仪模块(100),其具有如下特征:/n光学谐振器(102),用于对光进行滤波,其中所述光学谐振器(102)关于至少一个所要滤出的波长范围方面可调;/n探测装置(104),用于探测被所述光学谐振器(102)透射的光,其中所述探测装置(104)具有至少一个第一探测元件(108)和至少一个第二探测元件(110);和/n聚焦元件(106),所述聚焦元件成型用来使透射光的在第一入射角范围之内射入的光束(400)偏转到所述第一探测元件(108)上并且使透射光的在第二入射角范围之内射入的光束(600)偏转到所述第二探测元件(110)上。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170721 DE 102017212557.81.一种显微光谱仪模块(100),其具有如下特征:
光学谐振器(102),用于对光进行滤波,其中所述光学谐振器(102)关于至少一个所要滤出的波长范围方面可调;
探测装置(104),用于探测被所述光学谐振器(102)透射的光,其中所述探测装置(104)具有至少一个第一探测元件(108)和至少一个第二探测元件(110);和
聚焦元件(106),所述聚焦元件成型用来使透射光的在第一入射角范围之内射入的光束(400)偏转到所述第一探测元件(108)上并且使透射光的在第二入射角范围之内射入的光束(600)偏转到所述第二探测元件(110)上。
2.根据权利要求1所述的显微光谱仪模块(100),其中所述聚焦元件(106)被实现为透镜、消色差透镜、衍射光学元件或者反射器。
3.根据上述权利要求之一所述的显微光谱仪模块(100),其中所述聚焦元件(106)布置在所述光学谐振器(102)与所述探测装置(104)之间。
4.根据上述权利要求之一所述的显微光谱仪模块(100),其中所述光学谐振器(102)被实现为法布里-珀罗干涉仪。
5.根据上述权利要求之一所述的显微光谱仪模块(100),其中所述探测装置(104)具有至少一个第三探测元件(112),其中所述聚焦元件(106)成型用来使透射光的至少一个在第三入射角范围之内射入的光束(800)偏转到所述至少一个第三探测元件(112)上。
6.根据上述权利要求之一所述的显微光谱仪模块(100),所述显微光谱仪模块具有至少一个前置于所述探测装置(104)的预滤器,用于对光进行预滤波。
7.根据上述权利要求之一所述的显微光...
【专利技术属性】
技术研发人员:M胡斯尼克,C胡贝尔,B施泰因,C舍林,
申请(专利权)人:罗伯特·博世有限公司,
类型:发明
国别省市:德国;DE
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