含IPA的工程排气流的处理系统技术方案

公开含IPA的工程排气流的处理系统。其包括降低工程排气流中至少IPA浓度的IPA浓度降低器；以及接收经过IPA浓度降低器处理的工程排气流进行处理的湿式洗涤器。IPA浓度降低器包括喷雾后电气集尘的过程和湿式过滤器处理。处理了含低浓度IPA的流的洗涤器中所使用的用水再次用于处理含高浓度IPA的流的降低器，因此能够减少废水。

Treatment system of Engineering exhaust flow with IPA

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】含IPA的工程排气流的处理系统
本专利技术涉及工程排气流处理领域，更具体来讲涉及在处理含IPA的工程排气流方面能够显著减少发生废水的处理系统。
技术介绍
通常，IPA(IsopropylAlcohol，异丙醇)之类的醇类溶剂在多种工程中用作清洗剂。尤其，在半导体制造工程中IPA具有不留斑痕的特性，因此大量用于清洗半导体晶片等。这种IPA作为醇类有机溶剂对人体有害，因此要求彻底处理含这种物质的工程排气流。为此进行的处理通常是在湿式洗涤器相接触工程排气流与水处理IPA。图1为简要示出用于处理含IPA的工程排气流的现有的一般湿式洗涤器的示意图。如图1所示，现有的湿式洗涤器将工程排气流流入到气体流入口1并使得在水接触区域7中和水接触以处理IPA与其他有害物质后通过气体排出口9排出的方式。与排气流接触的水是将收容在水槽3的用水通过循环部5循环使用。半导体或显示器制造工程中使用大量的IPA，因此工程排气流中含有浓度非常高的IPA。这种高浓度的醇类IPA在循环喷射时容易再分解。因此，需要供应大量的补充水降低收容在水槽3的用水(本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种含IPA的工程排气流的处理系统，包括：/nIPA浓度降低器，其降低工程排气流中至少IPA浓度；以及/n湿式洗涤器，其接收经过所述IPA浓度降低器处理的工程排气流进行处理。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170831 KR 10-2017-01107841.一种含IPA的工程排气流的处理系统，包括：
IPA浓度降低器，其降低工程排气流中至少IPA浓度；以及
湿式洗涤器，其接收经过所述IPA浓度降低器处理的工程排气流进行处理。


2.根据权利要求1所述的含IPA的工程排气流的处理系统，所述IPA浓度降低器包括：
喷雾部，其向工程排气流以雾形态喷射水；以及
电气集尘部，其集尘来自所述喷雾部的工程排气流中的雾及与雾结合的成分。


3.根据权利要求2所述的含IPA的工程排气流的处理系统，所述IPA浓度降低器还包括：
湿式过滤器部，其对来自所述电气集尘部的工程排气流进行湿式过滤器处理。


4.根据权利要求3所述的含IPA的工程排气流的处理系统，所述IPA浓度降低器还包括：
第一水槽部，其至少收容所述湿式过滤器部使用的水。


5.根据权利要求4所述的含IPA的工程排气流的处理系统，所述湿式洗涤器包括：
第二水槽部；
水接触区域，其配置在所述第二水槽部上使工程排气流与所述第二水槽部的水接触；
第二循环部，其循环所述第二水槽部内的水使得在所述水接触区域与工程排气流接触；以及
气体排出部，其排出经过处理的工程排气流。


6.根据权利要求4所述的含IPA的工程排气流的处理系统，其中，
所述第二水槽部与用水补充线路连接，收容的水达到指定水位以上时溢出水。


7.根据权利要求6所述的含IPA的工程排气流的处理系统，其中，
所述第一水槽部获得从所述第二水槽部溢出的水，
所述湿...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹钟珌，
申请(专利权)人：易克易呢根股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR