【技术实现步骤摘要】
用于三自由度调节平台的全路径精度校准装置
本技术涉及精密定位领域，尤其是一种三自由度调节平台的精度校准装置。
技术介绍
多自由度二维调节机构在芯片组装，点胶，高精度对位等多种自动化生产线配套的自动化机台上被广泛使用。多自由度二维调节机构主要通过如下形式实现二维平面内的坐标和角度调节：(1)XYθ调节机构两个自由度调节直线坐标，θ调节角度；(2)uvw调节机构通过三个直线调节机构的联动来实现二维平面内直线和角度调节，此类调节机构有时会采用四个直线调节机构联动。该类调节机构在实际使用时，当调节精度小于等于50微米时，初步安装的调节机构精度往往无法达到精度要求，需要在初次组装的基础上进行二次调节。针对上述情况，一般的精度校准方式是，调节机构从A点运行至B点，测量一下到达B点之后实际运行位置和设定位置之间的差距，通过多次路径运行，最终得到到达B点的运行精度。然而，采用这种校准方式，运动过程中待校准平台容易在工作台上打滑，从而造成相对移动，对测试结果造成误差，影响校准的准确性。
技术实现思路
本技术所要解决的技...
【技术保护点】
1.用于三自由度调节平台的全路径精度校准装置，其特征在于，包括：/n检测平台(1)，以及设置于检测平台(1)上的相机系统(2)、光源系统(3)、移动平台(4)和激光干涉仪(6)；所述移动平台(4)包括移动平台组件以及辅助固定组件，移动平台组件包括直线模组(4-1)、工作台(4-2)和待校准平台(4-3)，工作台(4-2)与直线模组(4-1)通过丝杆传动连接，丝杆旋转带动工作台(4-2)和待校准平台(4-3)直线运动；辅助固定组件包括固定在检测平台(1)上的侧向定位组件和固定在工作台(4-2)上的前后定位组件，侧向定位组件用于将待校准平台(4-3)在其两侧方向夹紧或松开，前后...
【技术特征摘要】
1.用于三自由度调节平台的全路径精度校准装置，其特征在于，包括：
检测平台(1)，以及设置于检测平台(1)上的相机系统(2)、光源系统(3)、移动平台(4)和激光干涉仪(6)；所述移动平台(4)包括移动平台组件以及辅助固定组件，移动平台组件包括直线模组(4-1)、工作台(4-2)和待校准平台(4-3)，工作台(4-2)与直线模组(4-1)通过丝杆传动连接，丝杆旋转带动工作台(4-2)和待校准平台(4-3)直线运动；辅助固定组件包括固定在检测平台(1)上的侧向定位组件和固定在工作台(4-2)上的前后定位组件，侧向定位组件用于将待校准平台(4-3)在其两侧方向夹紧或松开，前后定位组件用于将待校准平台(4-3)在其前后方向夹紧或松开。
2.如权利要求1所述的用于三自由度调节平台的全路径精度校准装置，其特征在于：所述相机系统(2)安装在检测平台(1)上方的支架上，工作距离可调。
3.如权利要求1或2所述的用于三自由度调节平台的全路径精度校准装置，其特征在于：相机系统(2)包括工业相机(2-1)、相机转接板(2-2)、上下调节机构(2-3)，上下调节机构(2-3)上设有相机安装导向槽(2-4)；工业相机(2-1)固定在相机转接板(2-2)上，相机转接板(2-2)通过相机安装导向槽(2-4)安装在上下调节机构(2-3)上。
4.如权利要求1所述的用于三自由度调节平台的全路径精度校准装置，其特征在于：所述光源系统(3)对称安装在移动平台(4)两侧，光源高度和角度可调。
5.如权利要求1或4所述的用于三自由度调节平台的全路径精度校准装置，其特征在于：光源系统(3)包括光源支架(3-1)、条形光源转接板(3-2)、条形光源(3-3)、调节板(3-4)；光源支架(3-1)固定在检测平台(1)上，条形光源(3-3)固定在条形光源转接板(3-2)上，条形光源转接板(3-2)通过螺丝安装在...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯西，虞建，王盼，刘中，张勇，
申请(专利权)人：成都新西旺自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51
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